【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光，尤其涉及激光辐射频率转换产生紫外或深紫外或真空紫外光的装置。
技术介绍
1、激光辐射的波长转换，通常使用透明材料，如，非线性激光晶体，lbo,clbo，bbo，kbbf，rbbf等的非线性过程，或者使用气体，如氦气，氖气，氩气，氪气等，或者材料被激光轰击的表面等离子体等，通过一次或多次的有效非线性过程，转换成为其他波长的相干或非相干辐射，将一种波长的激光器输出光束转变，产生紫外(uv)、深紫外(duv)、真空紫外(vuv)，或极紫外(euv)的光束。随着科技和产业的发展，这些高质量的光束的应用越来越多，这些光束产生的技术研究和应用越来越受重视。一些应用，需要大功率或高脉冲能量，需要高光束质量的各种紫外光。本专利技术里所提到的紫外光，对于知晓该领域的技术人员来说，也可以理解为笼统地包括紫外，深紫外，真空紫外，极紫外光。
2、然而，大功率或高能量的相干紫外光的产生的一种有效途径，是通过对红外或近红外激光光束(基波)进行多次的非线性谐波转换来，再辅助于产生后的光束整形，使得这些紫外光束产生系统变得非常有价值。这...
【技术保护点】
1.激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述前部光学系统包括至少一个二倍频晶体，用于将输入的基波光束转换为二倍频谐波和剩余基波，使得产生的二倍频谐波的横截面光强分布形状得到调整。
3.根据权利要求2所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述前部光学系统还包括过渡介质以及整形模块中的至少一个，其中：
4.根据权利要求1所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述入射基波光束的横截面光强分布形状为圆形，剩余的基波、二倍频谐波...
【技术特征摘要】
1.激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述前部光学系统包括至少一个二倍频晶体，用于将输入的基波光束转换为二倍频谐波和剩余基波，使得产生的二倍频谐波的横截面光强分布形状得到调整。
3.根据权利要求2所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述前部光学系统还包括过渡介质以及整形模块中的至少一个，其中：
4.根据权利要求1所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述入射基波光束的横截面光强分布形状为圆形，剩余的基波、二倍频谐波和所述四倍频晶体内的四倍频谐波的横截面光强分布形状为椭圆形，所述四倍频出射光束的形状为近似圆形。
5.根据权利要求3所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述整形模块，采用以下形式之一：
6.根据权利要求3所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：还包括光学反射部件；
7.根据权利要求6所述的激光辐射频率转换产生紫外光的装置，其特征在于：所述光学反射部件采用：
8.根据权利要求6所述的激光辐射频率转换产生紫外...
【专利技术属性】
技术研发人员：周建平，
申请(专利权)人：南京钻石激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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