【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子清洗，具体为宽幅等离子清洗机及其系统。
技术介绍
1、等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等体子体轰被清洗产品面，以达到清洗目的。
2、表面清洁：可去除物体表面有机污染物、油脂和氧化物等杂质，为后续涂覆、镀膜等工序提供洁净表面，保证涂层或薄膜均匀性和附着性；
3、表面改性：引入新官能团或改变材料表面化学结构，改善亲水性、粘附性和生物相容性等特性，在生物医学和材料科学领域应用广泛；
4、提高附着力：改善表面状态，增加涂层或薄膜与基材结合强度，提升产品质量和耐久性；
5、灰化光刻胶：在半导体制造中用于去除残留光刻胶，保证后续工
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1.宽幅等离子清洗机，包括工作台（1）、等离子发生器（2）和翻转单元（3），所述等离子发生器（2）位于工作台（1）上方，所述翻转单元（3）设置在工作台（1）的后侧，其特征在于，所述工作台（1）包括：
2.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述支撑横板（11）下侧固定设置有侧板（111），所述侧板（111）内侧固定设置有支撑柱（112），所述支撑柱（112）顶端与支撑横板（11）固定连接。
3.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述第一升降液压杆（12）位于侧板（111）外侧，所述第一升降液压杆（12）底部固定连接...
【技术特征摘要】
1.宽幅等离子清洗机，包括工作台（1）、等离子发生器（2）和翻转单元（3），所述等离子发生器（2）位于工作台（1）上方，所述翻转单元（3）设置在工作台（1）的后侧，其特征在于，所述工作台（1）包括：
2.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述支撑横板（11）下侧固定设置有侧板（111），所述侧板（111）内侧固定设置有支撑柱（112），所述支撑柱（112）顶端与支撑横板（11）固定连接。
3.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述第一升降液压杆（12）位于侧板（111）外侧，所述第一升降液压杆（12）底部固定连接有连接板（121），所述连接板（121）与侧板（111）固定连接。
4.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述传送组件（13）内侧插接有传送辊（131），所述传送辊（131）上套接有多个橡胶圈放置加工件在传送过程中收到损伤，所述传送组件（13）内侧固定设置有导流板（132），所述导流板（132）位于传送辊（131）上方。
5.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述外壳（21）设置有插接件（211），所述插接件（211）套接在第一升降液压杆（12）的输出端上，所述外壳（21）底部设置有喷口（212），所述喷口（212）设置为呈前后排列分布的细窄的线型，所述外壳（21）内侧固定设置有定位件（213），所述定位件（213）套接有高压电极（24）。
6.根据权利要求1所述的宽幅等离子清洗机，其特征在于，所述输气管（22）插接在外壳（21）上，且所述输气管（22）贯穿外壳（21）病插接有接地电极（23），所述接地电极（23）位于外壳（21）内侧，所述接地电极（23）套接在高压电极（24）外侧，所述接地电极（23）与高压电极（24）...
【专利技术属性】
技术研发人员：李旭东，
申请(专利权)人：深圳市东信高科自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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