【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及牙用车针,尤其涉及一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备。
技术介绍
1、微波等离子体化学气相沉积(mpcvd)装置是制备金刚石的关键设备。它由微波源、环形器、阻抗匹配器、波导、模式转换器、同轴结构等组成,将电能转化为微波能量并传输到谐振腔,在谐振腔内形成特定模式的微波场,使反应气体电离形成等离子体,从而实现金刚石的沉积生长。
2、传统的牙科车针多为在金属车针基体上结合嵌有金刚石颗粒的磨削层后制得,主要采用电镀法和钎焊法。电镀法存在金刚石磨粒把持力小、易脱落、镀层过深导致加工锋利性降低和容屑空间不足等问题;钎焊法也存在一些工艺上的挑战和局限性。近年来,化学气相沉积(cvd)法逐渐应用于车针后续处理过程之中,增强了车针的耐磨性和切削效率。mpcvd法制备的金刚石膜具有高硬度、高耐磨性和良好的化学稳定性等优点,能够有效提高车针的使用寿命和切削性能。
3、现有技术中,随晶体厚度增加,晶体表面更加接近等离子体内,并随着沉积尺寸的增大,光学级金刚石膜的制备工艺难度和成本也会随之上升,需要克服如何改善金
...【技术保护点】
1.一种MPCVD法金刚石及牙用高速车针的制备设备,包括反应室(1),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述内基台(4)顶部滑动安装有夹杆(6),所述夹杆(6)靠近内基台(4)中心的一端固定安装有夹板(9)。
3.根据权利要求2所述的一种MPCVD法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述外基台(5)的外侧壁上开设有环形滑槽(7),所述环形滑槽(7)上滑动安装有限位套件(8),所述限位套件(8)由底部可沿着环形滑槽(7)滑行的滑板和顶部可套接于夹杆(6)外部的套筒一
...【技术特征摘要】
1.一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,包括反应室(1),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述内基台(4)顶部滑动安装有夹杆(6),所述夹杆(6)靠近内基台(4)中心的一端固定安装有夹板(9)。
3.根据权利要求2所述的一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述外基台(5)的外侧壁上开设有环形滑槽(7),所述环形滑槽(7)上滑动安装有限位套件(8),所述限位套件(8)由底部可沿着环形滑槽(7)滑行的滑板和顶部可套接于夹杆(6)外部的套筒一体组成,所述限位套件(8)底部的滑板设有凸起并位于环形滑槽(7)内部的内凹处,所述夹杆(6)的最外端与限位套件(8)的套筒内侧壁之间设有弹性元件。
4.根据权利要求3所述的一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述反应室(1)内还设置有转动机构,转动机构包括固定轨道(10),所述固定轨道(10)固定安装于反应室(1)底部,所述固定轨道(10)底部与反应室(1)底部之间设有空隙。
5.根据权利要求4所述的一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述外基台(5)底部转动安装有转杆(11),所述转杆(11)底部设置为横向圆柱状,所述转杆(11)底部的圆柱端滑动安装于固定轨道(10)与反应室(1)底部之间的空隙上。
6.根据权利要求5所述的一种mpcvd法金刚石及牙用高速车针的制备设备,其特征在于:所述转杆(11)外部转动安装...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋君祥,夏宇,蒋亚辰,宋广霖,李阳,
申请(专利权)人:成都大合局新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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