【技术实现步骤摘要】
本技术涉及超纯水,具体为一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备。
技术介绍
1、在电子工业的生产工艺中,相当多的工序要进行化学处理,而电子产品的清洗和化学药剂的制备都直接或间接的要利用到纯水或超纯水,随着电子工业的发展,尤其是以超大规模集成电路为代表的半导体产业的发展,对纯水的水质提出了更高要求,而为了获得更好的水质,在纯水系统中使用了大量氮气对水箱进行保护,防止空气中的可溶气体或颗粒进入水箱污染水质。
2、目前现有超纯水系统中的ro设备一直开机,根据水箱液位调整回流阀,尽量减少液位的波动,为了防止吸气时空气中的二氧化碳和氧气溶于水中导致水质变差,会使用氮气进行保护,但液位的波动容易使氮气频繁排出,从而浪费大量氮气。
3、因此,需要一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备来解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技
...【技术保护点】
1.一种纯水系统氮气到RO水池的二次回收应用设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有回收机构(2),所述底座(1)的顶部且在远离回收机构(2)位置处安装有地脚螺栓(3);
2.根据权利要求1所述的一种纯水系统氮气到RO水池的二次回收应用设备,其特征在于:所述底座(1)由铝合金制成,所述地脚螺栓(3)设置有多组。
3.根据权利要求1所述的一种纯水系统氮气到RO水池的二次回收应用设备,其特征在于:所述UPW水箱(201)的进气氮气压力为0.5kpa,呼吸阀(207)排气压力为12kpa。
4.根据权利要求1所述的一种
...【技术特征摘要】
1.一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有回收机构(2),所述底座(1)的顶部且在远离回收机构(2)位置处安装有地脚螺栓(3);
2.根据权利要求1所述的一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备,其特征在于:所述底座(1)由铝合金制成,所述地脚螺栓(3)设置有多组。
3.根据权利要求1所述的一种纯水系统氮气到ro水池的二次回收应用设备,其特征在于:所述upw水箱(201)的进气氮气压力为0.5kpa,呼吸阀(207)排气压力为12kpa。
4.根据权利要求1所述的一种纯水系统氮气到ro水池的...
【专利技术属性】
技术研发人员:武彦,
申请(专利权)人:上海三邦水处理技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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