驱动元件及光偏转元件制造技术

驱动元件(1)包括：可动部(30)；第1支承部(11)，其沿着可动部(30)的转动轴线(R0)延伸，该第1支承部(11)的一端连接于可动部(30)；一对臂部(12)，其隔着转动轴线(R0)地配置；一对连结部(13)，其连结一对臂部(12)和第1支承部(11)的另一端；第2支承部(14)，其沿着转动轴线(R0)延伸，支承一对连结部(13)；固定部(15)，其与第2支承部(14)连接；以及驱动部(16)，其驱动臂部(12)。第2支承部(14)的刚度比第1支承部(11)的刚度高，一对连结部(13)以向可动部(30)侧倾斜的方式配置。各个连结部(13)与第2支承部(14)所成的角大于90°且为135°以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及使可动部绕转动轴线转动的驱动元件及使用该驱动元件的光偏转元件。

技术介绍

1、近年来，开发了一种使用mems(micro electro mechanical system：微机电系统)技术使可动部转动的驱动元件。在这种驱动元件中，通过在可动部配置反射面，从而能够使射入到反射面的光以预定的摆角进行扫描。这种驱动元件例如搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像显示装置。此外，利用激光检测物体的激光雷达等也能使用这种驱动元件。

2、在以下的专利文献1中记载了一种利用所谓的音叉振子使可动部转动的方式的驱动元件。在该驱动元件中，可动部利用沿着转动轴线延伸的第1连接体连接于音叉振子。此外，音叉振子垂直地连接于沿着转动轴线延伸的第2连接体。第2连接体连接于基体。基体构成用于将驱动元件固定于被设置面的固定部。通过驱动音叉振子，从而可动部绕转动轴线转动，随之，配置于可动部的反射面转动。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2019－082625号公报

<b>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种驱动元件，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

7.一种光偏转元件，其特征在于，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种驱动元件，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的驱动元件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：水原健介，石田贵巳，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：