【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片镀膜，具体涉及一种双面镀膜的石墨舟。
技术介绍
1、随着光伏技术的发展，topcon电池已经逐渐成为光伏市场主流。现有topcon电池工序中的正膜和背膜是两道工序，硅片在石墨舟上只能单边镀膜，即石墨舟上的硅片在正膜和背膜工序中只能镀正面或者背面一个面。现有石墨舟的结构如图1所示，石墨舟每个舟片(外边片除外)的两边均附着有硅片，舟片与舟片之间是不同的两个电极，从而在相邻两个舟片间形式电场，电场激发工艺气体产生等离子体，增强工艺气体之间的反应从而在硅片表面形成薄膜。而硅片只能有一面接触到等离子体工艺气体，无法实现在一道工序中双面同时镀膜。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、便于维护、清洗效率高且有利于提高设备产能的双面镀膜的石墨舟。
2、为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
3、一种双面镀膜的石墨舟，包括：舟托和舟架，所述舟托底部的两侧分别为正负电极，多个舟架依次排列在舟托上，并与舟托底部的正负电极进行电连接，舟架用于承载待镀膜的硅片；所述舟架包括顶板和底板，顶板与底板之间设有导电组件，多个所述硅片沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片的极性则相反，以实现每相邻两层硅片之间形成电场，从而产生等离子体，完成硅片双面镀膜。
4、作为本技术的进一步改进，所述导电组件包括：导电支撑柱、石墨卡子、陶瓷卡子和设置在底板上的引电组件；多根结构相同的导电支撑柱分为
5、作为本技术的进一步改进，所述引电组件包括引电线和电极块，同一组的多个导电支撑柱通过引电线进行连接，并通过引电线连接至设置在底板底部的电极块，所述电极块用于连接舟托底部的正负电极。
6、作为本技术的进一步改进，其中一组导电支撑柱的引电线设置在底板上方，另外一组导电支撑柱的引电线设置在底板下方。
7、作为本技术的进一步改进，所述石墨卡子和陶瓷卡子均采用圆环结构，所述石墨卡子中部设有凹槽，所述凹槽用于搭载硅片。
8、作为本技术的进一步改进，所述舟托包括：电极孔、定位槽、石墨导条和托架本体，所述托架本体采用矩形框架结构，沿着托架本体的长度方向，托架本体的底部两侧对称设有多个定位槽，所述定位槽用于定位舟架，在托架本体的同一侧，相邻定位槽之间设有石墨导条，所述托架本体端部两侧设有电极孔，在两个电极孔内分别插入正负电极，以实现排列在舟托内的舟架与电源连通。
9、作为本技术的进一步改进，所述托架本体底部四个顶点均设有舟脚。
10、作为本技术的进一步改进，所述导电支撑柱、引电线和电极块均采用石墨材料制备得到。
11、作为本技术的进一步改进，所述顶板和底板均采用陶瓷材料制备得到。
12、与现有技术相比，本技术的优点在于：
13、本技术的双面镀膜的石墨舟，通过舟托和舟架组成了石墨舟的主体结构，具体地，舟托底部的左右两侧分别设置正负电极，多个舟架依次排列在舟托上，并与舟托底部的正负电极进行电连接，以实现多块硅片同时进行镀膜工艺；进一步地，舟架的顶板与底板之间设有导电组件，多个硅片沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片的极性则相反，即实现了每相邻两层硅片之间形成电场，从而产生等离子体，在同一道工序中完成硅片双面镀膜。本技术具有结构紧凑、便于维护、镀膜效率高等优点，镀膜时无需将硅片进行翻面，解决了现有技术中硅片只能有一面接触到等离子体工艺气体而无法实现在一道工序中双面同时镀膜的问题，有利于提高设备产能。
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1.一种双面镀膜的石墨舟，其特征在于，包括：舟托(1)和舟架(2)，所述舟托(1)底部的两侧分别为正负电极，多个舟架(2)依次排列在舟托(1)上，并与舟托(1)底部的正负电极进行电连接，舟架(2)用于承载待镀膜的硅片(3)；所述舟架(2)包括顶板(21)和底板(22)，顶板(21)与底板(22)之间设有导电组件，多个所述硅片(3)沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片(3)的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片(3)的极性则相反，以实现每相邻两层硅片(3)之间形成电场，从而产生等离子体，完成硅片(3)双面镀膜。
2.根据权利要求1所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述导电组件包括：导电支撑柱(23)、石墨卡子(24)、陶瓷卡子(25)和设置在底板(22)上的引电组件；多根结构相同的导电支撑柱(23)分为两组，其中一组作为正极导电柱，另一组作为负极导电柱；所述导电支撑柱(23)的一端与顶板(21)连接，导电支撑柱(23)的另一端与底板(22)连接，且导电支撑柱(23)通过引电组件与舟托(1)底部的正负电极连接；结构相同的所述石墨卡子(24)和陶瓷卡子(25)依次交替套设
3.根据权利要求2所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述引电组件包括引电线(26)和电极块(27)，同一组的多个导电支撑柱(23)通过引电线(26)进行连接，并通过引电线(26)连接至设置在底板(22)底部的电极块(27)，所述电极块(27)用于连接舟托(1)底部的正负电极。
4.根据权利要求3所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，其中一组导电支撑柱(23)的引电线(26)设置在底板(22)上方，另外一组导电支撑柱(23)的引电线(26)设置在底板(22)下方。
5.根据权利要求2所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述石墨卡子(24)和陶瓷卡子(25)均采用圆环结构，所述石墨卡子(24)中部设有凹槽(241)，所述凹槽(241)用于搭载硅片(3)。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述舟托(1)包括：电极孔(12)、定位槽(13)、石墨导条(14)和托架本体(15)，所述托架本体(15)采用矩形框架结构，沿着托架本体(15)的长度方向，托架本体(15)的底部两侧对称设有多个定位槽(13)，所述定位槽(13)用于定位舟架(2)，在托架本体(15)的同一侧，相邻定位槽(13)之间设有石墨导条(14)，所述托架本体(15)端部两侧设有电极孔(12)，在两个电极孔(12)内分别插入正负电极，以实现排列在舟托(1)内的舟架(2)与电源连通。
7.根据权利要求6所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述托架本体(15)底部四个顶点均设有舟脚(11)。
8.根据权利要求3或4所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述导电支撑柱(23)、引电线(26)和电极块(27)均采用石墨材料制备得到。
9.根据权利要求1至5中任意一项所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述顶板(21)和底板(22)均采用陶瓷材料制备得到。
...【技术特征摘要】
1.一种双面镀膜的石墨舟，其特征在于，包括：舟托(1)和舟架(2)，所述舟托(1)底部的两侧分别为正负电极，多个舟架(2)依次排列在舟托(1)上，并与舟托(1)底部的正负电极进行电连接，舟架(2)用于承载待镀膜的硅片(3)；所述舟架(2)包括顶板(21)和底板(22)，顶板(21)与底板(22)之间设有导电组件，多个所述硅片(3)沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片(3)的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片(3)的极性则相反，以实现每相邻两层硅片(3)之间形成电场，从而产生等离子体，完成硅片(3)双面镀膜。
2.根据权利要求1所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述导电组件包括：导电支撑柱(23)、石墨卡子(24)、陶瓷卡子(25)和设置在底板(22)上的引电组件；多根结构相同的导电支撑柱(23)分为两组，其中一组作为正极导电柱，另一组作为负极导电柱；所述导电支撑柱(23)的一端与顶板(21)连接，导电支撑柱(23)的另一端与底板(22)连接，且导电支撑柱(23)通过引电组件与舟托(1)底部的正负电极连接；结构相同的所述石墨卡子(24)和陶瓷卡子(25)依次交替套设在导电支撑柱(23)上，以用于支撑硅片(3)，并实现相邻层硅片(3)的极性相反。
3.根据权利要求2所述的双面镀膜的石墨舟，其特征在于，所述引电组件包括引电线(26)和电极块(27)，同一组的多个导电支撑柱(23)通过引电线(26)进行连接，并通过引电线(26)连接至设置在底板(22)底部的电极块(27)，所述电极块(27)用于连接舟托(1)底部的正...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖洁，周佑丞，张春成，柳懿峰，吴得轶，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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