一种P型硅片生产检测装置制造方法及图纸

技术编号:44597358 阅读:22 留言:0更新日期:2025-03-14 12:53
本技术涉及一种P型硅片生产检测装置,属硅片检测技术领域,包括检测台和激光检测器,所述检测台上设置有传送带,所述检测台两侧设置有门架,两侧所述门架顶端固定连接有顶板,所述顶板上固定设置有显示屏、控制面板和控制器,所述顶板下方固定设置有导轨,所述导轨上设置有滑块,所述滑块与导轨滑动连接,所述滑块与激光检测器固定连接,所述传送带一侧设置有抓取机构,所述抓取机构包括立柱、横梁和转臂,所述横梁的两端分别与立柱和转臂活动连接,所述转臂一端与固定设置有吸盘。本技术中设置抓取机构,通过抓取机构将生产的P型硅片抓取后翻转一定角度,方便激光检测器对硅片全方位检测,检测结果更全面。

【技术实现步骤摘要】

本技术属硅片检测,具体涉及一种p型硅片生产检测装置。


技术介绍

1、硅片类型p型或n型取决于它的掺杂元素,纯净的硅是半导体,它本身的导电性不强,但是通过添加少量的掺杂元素,可以显著提高其导电性。因此,硅片在生产完成后,需要对其进行检测,保证其质量符合标准。在对硅片进行检测时,可使用到激光检测器,但是现有检测装置上的激光检测器的位置为固定式安装的,由于硅片面积大小有所不一,导致激光检测器不能检测到硅片不同位置,不能实现对单晶硅片全方位检测,检测结果不够全面,为此,我们提出一种p型硅片生产检测装置。


技术实现思路

1、为解决上述问题,本技术采用的技术方案是:

2、一种p型硅片生产检测装置,包括检测台和激光检测器,所述检测台上设置有传送带,所述检测台两侧设置有门架,两侧所述门架顶端固定连接有顶板,所述顶板上固定设置有显示屏、控制面板和控制器,所述顶板下方固定设置有导轨,所述导轨上设置有滑块,所述滑块与导轨滑动连接,所述滑块与激光检测器固定连接,所述传送带一侧设置有抓取机构,所述抓取机构包括立柱、横梁和转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种P型硅片生产检测装置,包括检测台(1)和激光检测器(2),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

6.根据权利要求1所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

7.根据权利要求2所述的一种P型硅片生产检测装置,其特征在于:

8.根据权利要求3所述的一种P型硅片生产检测装...

【技术特征摘要】

1.一种p型硅片生产检测装置,包括检测台(1)和激光检测器(2),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种p型硅片生产检测装置,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的一种p型硅片生产检测装置,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的一种p型硅片生产检测装置,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:于越洋李昊阳李广德于如远
申请(专利权)人:山东民峰智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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