【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片传送盒捆包设备,具体涉及一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台。
技术介绍
1、一、在半导体制造领域,12寸硅片成品的包装至关重要。目前,在将12寸硅片成品装入前开式晶圆传送盒fosb(front opening shipping box)进行捆包时,主要采用以下几种方式及面临的问题:
2、1.1常规工作台结构简单,在套pe袋和铝箔袋的过程中容易出现晃动,增加了硅片受损的风险。
3、1.2缺乏专门的定位装置,难以准确固定 fosb 的位置,导致操作效率低下,且容易出现捆包不整齐的情况。
4、2.1功能单一,不能满足全面的捆包需求。缺少没有旋转台,标签方向容易出现错误。也没有专门的包装袋存放区域,操作人员在操作过程中需要频繁寻找工具,浪费时间,降低了工作效。
5、二、现有技术的缺点
6、1.效率低下。由于缺乏合适的工作台,捆包套袋操作过程繁琐,耗时较长,不能满足高效生产的需求。操作人员在不便利的条件下工作,容易疲劳,进一步影响工作效率。
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...【技术保护点】
1.一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,包括工作台板(1),所述的工作台板(1)四边角下端均设有与工作台板(1)呈一体化焊接固定的柱腿(7),其特征在于:所述的工作台板(1)一侧上端后部设有固定座(3),所述的固定座(3)前端上部设有延伸至工作台板(1)前部的支撑板(2),所述的支撑板(2)前部上端两侧均设有侧挡板(9),所述的支撑板(2)侧边设有转盘(5),所述的转盘(5)与工作台板(1)间设有旋转轴(11)。
2.根据权利要求1所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的工作台板(1)两侧均设有与柱腿(7)相螺钉
...【技术特征摘要】
1.一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,包括工作台板(1),所述的工作台板(1)四边角下端均设有与工作台板(1)呈一体化焊接固定的柱腿(7),其特征在于:所述的工作台板(1)一侧上端后部设有固定座(3),所述的固定座(3)前端上部设有延伸至工作台板(1)前部的支撑板(2),所述的支撑板(2)前部上端两侧均设有侧挡板(9),所述的支撑板(2)侧边设有转盘(5),所述的转盘(5)与工作台板(1)间设有旋转轴(11)。
2.根据权利要求1所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的工作台板(1)两侧均设有与柱腿(7)相螺钉连接固定的包装袋存储箱(6)。
3.根据权利要求2所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的包装袋存储箱(6)外侧上端设有呈圆弧结构的取袋槽(10)。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:石成锴,
申请(专利权)人:杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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