用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台制造技术

技术编号:44576728 阅读:19 留言:0更新日期:2025-03-14 12:40
本发明专利技术涉及一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,所属硅片传送盒捆包设备技术领域,包括工作台板,所述的工作台板四边角下端均设有与工作台板呈一体化焊接固定的柱腿,所述的工作台板一侧上端后部设有固定座,所述的固定座前端上部设有延伸至工作台板前部的支撑板,所述的支撑板前部上端两侧均设有侧挡板,所述的支撑板侧边设有转盘,所述的转盘与工作台板间设有旋转轴。具有有旋转功能和包材存放区域的优点,为捆包操作提供便利。提高硅片成品在前开式晶圆传送盒中的捆包效率,降低硅片受损风险,提升操作便利性,为半导体制造企业提供更好的包装解决方案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片传送盒捆包设备,具体涉及一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台


技术介绍

1、一、在半导体制造领域,12寸硅片成品的包装至关重要。目前,在将12寸硅片成品装入前开式晶圆传送盒fosb(front opening shipping box)进行捆包时,主要采用以下几种方式及面临的问题:

2、1.1常规工作台结构简单,在套pe袋和铝箔袋的过程中容易出现晃动,增加了硅片受损的风险。

3、1.2缺乏专门的定位装置,难以准确固定 fosb 的位置,导致操作效率低下,且容易出现捆包不整齐的情况。

4、2.1功能单一,不能满足全面的捆包需求。缺少没有旋转台,标签方向容易出现错误。也没有专门的包装袋存放区域,操作人员在操作过程中需要频繁寻找工具,浪费时间,降低了工作效。

5、二、现有技术的缺点

6、1.效率低下。由于缺乏合适的工作台,捆包套袋操作过程繁琐,耗时较长,不能满足高效生产的需求。操作人员在不便利的条件下工作,容易疲劳,进一步影响工作效率。

7、2.硅片易受损。没本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,包括工作台板(1),所述的工作台板(1)四边角下端均设有与工作台板(1)呈一体化焊接固定的柱腿(7),其特征在于:所述的工作台板(1)一侧上端后部设有固定座(3),所述的固定座(3)前端上部设有延伸至工作台板(1)前部的支撑板(2),所述的支撑板(2)前部上端两侧均设有侧挡板(9),所述的支撑板(2)侧边设有转盘(5),所述的转盘(5)与工作台板(1)间设有旋转轴(11)。

2.根据权利要求1所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的工作台板(1)两侧均设有与柱腿(7)相螺钉连接固定的包装袋存储...

【技术特征摘要】

1.一种用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,包括工作台板(1),所述的工作台板(1)四边角下端均设有与工作台板(1)呈一体化焊接固定的柱腿(7),其特征在于:所述的工作台板(1)一侧上端后部设有固定座(3),所述的固定座(3)前端上部设有延伸至工作台板(1)前部的支撑板(2),所述的支撑板(2)前部上端两侧均设有侧挡板(9),所述的支撑板(2)侧边设有转盘(5),所述的转盘(5)与工作台板(1)间设有旋转轴(11)。

2.根据权利要求1所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的工作台板(1)两侧均设有与柱腿(7)相螺钉连接固定的包装袋存储箱(6)。

3.根据权利要求2所述的用于硅片成品在前开式晶圆传送盒中捆包的工作台,其特征在于:所述的包装袋存储箱(6)外侧上端设有呈圆弧结构的取袋槽(10)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:石成锴
申请(专利权)人:杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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