致动器、液体排出头、液体排出设备、以及致动器的制造方法技术

一种致动器，包括:在具有加压室的基板上的振动膜，振动膜具有限定加压室的壁的一部分的第一面；压电元件，位于振动膜的与第一面相反侧的第二面上；引线，从压电元件引出，以向压电元件供给电力；以及防湿膜，其覆盖引线及与引线重叠的压电元件的一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本实施例涉及致动器、液体排出头、液体排出设备、以及致动器的制造方法。

技术介绍

1、以往，已知有具备振动膜、压电元件、引线和防湿膜的致动器。振动膜作为层形成在其中形成有加压室的基板上，并且构成加压室的壁面的一部分。压电元件安装在与构成加压室的壁面的振动膜的面相反侧的振动膜的面上。引线从压电元件引出，向压电元件供给电力。防湿膜覆盖引线。

2、专利文献(ptl)1描述了一种包括上述致动器的液体排出头。致动器的引线被由具有防湿性的氮化硅(sin)制成的绝缘膜覆盖，作为压电元件的驱动元件的整个表面被上述绝缘膜覆盖。

3、引用文献列表

4、专利文献

5、【ptl1】日本专利no.6310824

技术实现思路

1、技术问题

2、但是，存在压电元件的振动位移减小的问题。

3、解决问题的方案

4、一种致动器，包括:在具有加压室的基板上的振动膜，所述振动膜具有限定所述加压室的壁的一部分的第一面；压电元件，位于所述振动膜的与所述第一面相反侧的第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种致动器，包括:

2.根据权利要求1所述的致动器，

3.根据权利要求2所述的致动器，

4.根据权利要求1所述的致动器，

5.根据权利要求1所述的致动器，

6.一种液体排出头，包括:

7.根据权利要求6所述的液体排出头，

8.根据权利要求7所述的液体排出头，

9.根据权利要求6所述的液体排出头，

10.一种液体排出设备，包括:

11.一种致动器的制造方法，所述方法包括:

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种致动器，包括:

2.根据权利要求1所述的致动器，

3.根据权利要求2所述的致动器，

4.根据权利要求1所述的致动器，

5.根据权利要求1所述的致动器，

6.一种液体排出头，包括:<...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山伝，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：