【技术实现步骤摘要】
本技术涉及精密定位，特别涉及一种多自由度定位台。
技术介绍
1、精密微定位技术是先进制造技术的重要组成部分，也是纳米技术的关键技术之一，近年来，我国以生物医学工程、半导体、纳米功能材料，芯片制造等领域对自主研发的高端、精密仪器的需求日益迫切，原子力显微镜为代表的高速，高精度测量仪器是高端精密制造中很重要的一部分，而这些高精度仪器的精度和性能在很大程度上依赖于其背后的纳米定位平台的精度和性能，研究高精度纳米定位平台对于高精度测量仪器的研发有着极其重要的意义。
2、目前定位平台通常采用伺服电机和精密丝杠等来进行动力驱动，但这种传动方案存在螺纹间缝和传动摩擦的问题，影响定位平台的定位精度，同时目前的定位平台通常分为单自由度、二自由度以及三自由度调整，自由度范围较小，可以理解的以上三种自由度调整包括了x、y、z三个方向的调节，而由于我国生物医学工程、半导体、纳米功能材料，芯片制造等领域的提升，上述三自由度的定位平台已逐渐不满足发展需求。
技术实现思路
1、基于此，本技术的目的是提供一种...
【技术保护点】
1.一种多自由度定位台，其特征在于，包括承载平台、设置在所述承载平台四周围边处的至少四个柔性铰链、分别通过四个所述柔性铰链与所述承载平台四周围边处连接的第一微调机构、第二微调机构、第三微调机构以及第四微调机构、设置在所述承载平台上方的工作平台，以及分别设置在所述承载平台与所述工作平台之间呈垂直设置的第五微调机构、第六微调机构、第七微调机构以及第八微调机构，所述第五微调机构、所述第六微调机构、所述第七微调机构以及所述第八微调机构沿所述承载平台与所述工作平台四周围边设置；
2.根据权利要求1所述的多自由度定位台，其特征在于，所述第一微调机构包括与所述柔性铰链连...
【技术特征摘要】
1.一种多自由度定位台，其特征在于，包括承载平台、设置在所述承载平台四周围边处的至少四个柔性铰链、分别通过四个所述柔性铰链与所述承载平台四周围边处连接的第一微调机构、第二微调机构、第三微调机构以及第四微调机构、设置在所述承载平台上方的工作平台，以及分别设置在所述承载平台与所述工作平台之间呈垂直设置的第五微调机构、第六微调机构、第七微调机构以及第八微调机构，所述第五微调机构、所述第六微调机构、所述第七微调机构以及所述第八微调机构沿所述承载平台与所述工作平台四周围边设置；
2.根据权利要求1所述的多自由度定位台，其特征在于，所述第一微调机构包括与所述柔性铰链连接的第一桥式放大器，以及设置在所述第一桥式放大器中心的第一压电陶瓷。
3.根据权利要求1所述的多自由度定位台，其特征在于，所述第二微调机构包括与所述柔性铰链连接的第二桥式放大器，以及设置在所述第二桥式放大器中心的第二压电陶瓷。
4.根据权利要求1所述的多自由度定位台，其特征在于，所述第三微调机构包括与所述柔性铰链连接的第三桥式放大器，以及设置在所述第三桥式放大器中心的第三压电陶瓷。
5.根据权利要求1所述的多自由度定位台，其特征在于，所述第四微调机构包括与所述柔性铰链连接的第四桥式放大器，以及设置在所述第四桥式...
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