【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体尾气处理，具体为一种新型水洗设备用水箱。
技术介绍
1、在半导体制造业中，产生的一些有害尾气需要经过特定的处理工序以减少其对环境和人员的危害。水洗或喷淋是一种常用的尾气处理方法，尤其适用于处理那些能溶于水或者可以通过水化学反应去除的污染物，如酸性、碱性、有机以及其他有害尾气，这种方法简单有效，能处理大部分溶于水的有害气体。
2、为使喷淋水循环使用，水洗设备内的气流通道通常向下与水箱连通，用于储放喷淋水，并供给喷淋水。生产实践中，水箱通常配置一个，因沉积或吸附作用，喷淋水需要定期更换，以保证需要良好的喷淋水洗效果，此时就需要关停水洗设备以方便更换喷淋水，此外，当水箱的水泵故障或其他零部件故障导致无法供给喷淋水时，也需要停机查看，不利于连续生产。
技术实现思路
1、本技术公开了一种新型水洗设备用水箱，它解决了现有技术中水洗设备水箱结构简单不利于连续生产的技术问题，具有结构合理、有利于连续生产且运行可靠的技术效果。所采用的技术方案如下：
2、一种新型水洗设...
【技术保护点】
1.一种新型水洗设备用水箱，其特征在于，包括箱本体（1），所述箱本体（1）内设有相独立的第一箱腔（11）和第二箱腔（12），所述第一箱腔（11）和第二箱腔（12）用于储存喷淋水且分别与供尾气流通的气流通道连通，所述第一箱腔（11）内的喷淋水可在第一水泵作用下向喷淋头（2）供水，所述第二箱腔（12）内的喷淋水可在第二水泵作用下向喷淋头（2）供水。
2.根据权利要求1所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，与所述第一水泵连通的喷淋头（2）和与所述第二水泵连通的喷淋头（2）间隔布置。
3.根据权利要求2所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，所述气流通道...
【技术特征摘要】
1.一种新型水洗设备用水箱，其特征在于，包括箱本体（1），所述箱本体（1）内设有相独立的第一箱腔（11）和第二箱腔（12），所述第一箱腔（11）和第二箱腔（12）用于储存喷淋水且分别与供尾气流通的气流通道连通，所述第一箱腔（11）内的喷淋水可在第一水泵作用下向喷淋头（2）供水，所述第二箱腔（12）内的喷淋水可在第二水泵作用下向喷淋头（2）供水。
2.根据权利要求1所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，与所述第一水泵连通的喷淋头（2）和与所述第二水泵连通的喷淋头（2）间隔布置。
3.根据权利要求2所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，所述气流通道内设有多个横向延伸的水管（3），若干所述喷淋头（2）分设在多个水管（3）上，且若干所述喷淋头（2）具有不同朝向以提高喷淋均匀性。
4.根据权利要求1~3中任一所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，所述第一箱腔（11）内设有竖向布置的第一隔板（4），所述第一隔板（4）将第一箱腔（11）分隔为相连通的两腔室，所述第二箱腔（12）内设有竖向布置的第二隔板（5），所述第二隔板（5）将第二箱腔（12）分隔为相连通的两腔室，以减少沉积杂质的流动。
5.根据权利要求4所述的新型水洗设备用水箱，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉宽，陈刚，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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