【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体混合,具体涉及一种气体混合设备。
技术介绍
1、气体混合设备是一种用于将两种或多种不同气体按照特定比例均匀混合的装置,其核心功能是将两种或多种不同气体按特定比例均匀混合,在半导体、环保、光伏、化工、医疗等行业中有着不可或缺的应用,以确保混合后的气体能够满足特定的工艺要求,例如公开号为cn111992065b的中国专利公开的气体混合装置。
2、现有的气体混合设备通常是对从不同气瓶中排出的气体,进行直接混合,而气体通常是处于压缩状态存储在气瓶中,而直接排出的气体根据理想气体状态方程和能量守恒定律,压缩时气体体积减小、压强增大,分子间距离拉近使分子势能增加,相应地分子动能减少,而温度是分子热运动剧烈程度的体现,分子动能降低,进而导致直接排出的气体具有较低温度;
3、而较低温度会使气体分子的热运动减缓,分子间的碰撞频率和能量交换降低,导致在混合过程中,气体分子难以迅速扩散和相互穿插,无法充分打破原有的聚集状态和浓度梯度,进而出现分层现象,影响气体在混合设备中的流动特性,使得气体的流动路径变得不稳定,无法
...【技术保护点】
1.一种气体混合设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述基座(1)的上端面固定连接有滑轨(11),所述基座(1)的上端面以滑轨(11)为中心对称开线性阵列设有多个安装孔(12),所述基座(1)的侧面安装有控制器;
3.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述冷热交换组件(24)包括置于外箱(21)内部的储气箱(241),所述储气箱(241)的中间固定连通有伸缩箱(242),所述储气箱(241)的底部两侧分别固定连接有一对滚轮(245)与一个定位块(246),所述定位块(246)靠近出气管
...【技术特征摘要】
1.一种气体混合设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述基座(1)的上端面固定连接有滑轨(11),所述基座(1)的上端面以滑轨(11)为中心对称开线性阵列设有多个安装孔(12),所述基座(1)的侧面安装有控制器;
3.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述冷热交换组件(24)包括置于外箱(21)内部的储气箱(241),所述储气箱(241)的中间固定连通有伸缩箱(242),所述储气箱(241)的底部两侧分别固定连接有一对滚轮(245)与一个定位块(246),所述定位块(246)靠近出气管(213)设置定位块(246)、滚轮(245)靠近进气管(211)设置,所述定位块(246)的另一侧与储气箱(241)的内底部固定连接,所述滚轮(245)与外箱(21)的内底部滚动接触,所述储气箱(241)靠近进气管(211)的一侧固定连通有收缩管(243),所述收缩管(243)的另一侧贯穿外箱(21)的内壁与进气管(211)固定连通,所述储气箱(241)靠近出气管(213)的一侧固定连通有连通管(244),所述连通管(244)的另一侧贯穿外箱(21)的内壁与出气管(213)连通。
4.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述弹性组件(25)包括固定连接在储气箱(241)侧面的第一固定块(251),且第一固定块(251)与滚轮(245)位置对应,所述外箱(21)靠近出气管(213)的内部固定连接有第二固定块(253),所述第一固定块(251)与第二固定块(253)之间固定连接有弹簧(252);
5.根据权利要求1所述的一种气体混合设备,其特征在于,所述防护箱(41)的底部设置有驱动混合汇聚组件(46)旋转的驱动电机(49),所述气体输入输出组件(42)包括固定连接在防护箱(41)上端面的分流器(421),所述分流器(421)具有两个输入端与多个输...
【专利技术属性】
技术研发人员:岳玉杰,贾厚成,陈袁波,沈家辉,
申请(专利权)人:上海韩科科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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