【技术实现步骤摘要】
本申请涉及衍射传播领域，特别是涉及一种基于倾斜角谱的反射成像装置及方法。
技术介绍
1、叠层成像技术作为计算成像的一种在图像的相位恢复领域被人广泛熟知。相干光束(如激光)，与待测样品作用之后，传播而出的衍射图案由探测器接收记录，将待测样品与探针进行相对移动，获得具有一定重叠率的相干衍射图案，最后使用重构算法重建待测样品的振幅与相位分布信息。
2、叠层成像技术由于无透镜，成像范围可扩展，收敛速度快等优点被运用广泛。而在工业检测中，绝大多数待测样品无法透光，透射式的叠层成像无法运用，将叠层成像技术扩展到反射领域很有必要。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种基于倾斜角谱的反射成像装置及方法，可重建无法透光的待测样品表面的平面图。
2、为实现上述目的，本申请提供了如下方案：
3、第一方面，本申请提供了一种基于倾斜角谱的反射成像装置，包括：激光器、样本夹持装置、激光处理装置、探针和图像采集装置：
4、所述激光器和所述激光处理装置均设置在所述探针的...
【技术保护点】
1.一种基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述基于倾斜角谱的反射成像装置包括：激光器、样本夹持装置、激光处理装置、探针和图像采集装置；
2.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述激光处理装置包括：反射镜组、衰减片、显微物镜、空间滤波器和准直凸透镜；
3.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述图像采集装置采用面阵式探测器。
4.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述样本夹持装置包括三维移动平台和底座，所述三维移动平台设置在底座上。
5.一种...
【技术特征摘要】
1.一种基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述基于倾斜角谱的反射成像装置包括：激光器、样本夹持装置、激光处理装置、探针和图像采集装置；
2.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述激光处理装置包括：反射镜组、衰减片、显微物镜、空间滤波器和准直凸透镜；
3.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述图像采集装置采用面阵式探测器。
4.根据权利要求1所述的基于倾斜角谱的反射成像装置，其特征在于，所述样本夹持装置包括三维移动平台和底座，所述三维移动平台设置在底座上。
5.一种基于倾斜角谱的反射成像方法，其特征在于，所述基于倾斜角谱...
【专利技术属性】
技术研发人员：史祎诗，李愫，陈彦淇，赵祎晗，黄磊，王庆鑫，
申请(专利权)人：中国科学院大学，
类型：发明
国别省市：
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