一种团簇多通道质量选择装置制造方法及图纸

本技术公开了一种团簇多通道质量选择装置，本技术包括：团簇离子束流入口狭缝板、若干出口狭缝板、平行板电极组以及若干侧板；在团簇离子束流入口狭缝板中心开设入口狭缝，在所述出口狭缝板中心开设出口狭缝；在平行板电极上开设入口狭缝和出口狭缝等宽的长带并铺设金属网；所述团簇离子束流入口狭缝板和所述出口狭缝板与侧板以及平行板电极组相互垂直。本发明专利技术利用同质量的带电离子纵向飞行的时间和位移与其质量相关的原理，使得不同质量的离子会分散到具有不同位移的平行束中，实现对应多通道质量团簇离子的分选功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及团簇多通道质量选择，具体为一种团簇多通道质量选择装置。

技术介绍

1、现有的进入质量选择器的离子束流，通常是以一束圆形的团簇离子流从入口进入，经过质量选择器筛选分离出单一质量的团簇后，依然是以一束近似圆形的平行离子束离开出口并收集。现有质量选择器的缺点在于团簇的宏观量产量过低。

2、现有设计的多通道质量选择器可以实现多种质量的团簇选择，但是其入口和出口都是圆形的小孔，通过的离子束流形状近似圆形。由于离子间受到库仑力的作用，束流密度不可能无限制地提高，因此通过的团簇离子数目是有限的，经过分离筛选后收集的团簇产量不高。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种团簇多通道质量选择装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：

3、一种团簇多通道质量选择装置，包括：

4、团簇离子束流入口狭缝板、若干出口狭缝板、平行板电极组以及若干侧板；

5、所述团簇离子束流入口狭缝板和所述出口狭缝板与侧板以及平行板电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，所述金属网以及金属网(7)右侧区域外接恒压直流电源，电压幅值为-V0。

3.根据权利要求1所述的一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，所述若干平行板电极包括第一平行板电极(3)、第二平行板电极(4)、第三平行板电极(5)和第四平行板电极组(6)，所述第四平行板电极组(6)包括若干平行板电极；

4.根据权利要求3所述的一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，所述第二平行板电极(4)和第三平行板电极(5)外接恒压直流电源，电压幅值为-V0；...

【技术特征摘要】

1.一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，所述金属网以及金属网(7)右侧区域外接恒压直流电源，电压幅值为-v0。

3.根据权利要求1所述的一种团簇多通道质量选择装置，其特征在于，所述若干平行板电极包括第一平行板电极(3)、第二平行板电极(4)、第三平行板电极(5)和第四...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄玉峰，曹路，
申请(专利权)人：深圳扩维原子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：