【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片生产技术,尤其涉及一种喷淋装置及切割机。
技术介绍
1、切割机是一种将硬脆材料棒切割成薄片的设备。以硅棒作为硬脆材料棒为例,硅棒自上向下移动从两根主辊之间穿过,主辊转动,带动切割线高速移动将硅棒切成薄片状。
2、在硅棒的两侧分别设有喷淋装置,用于在切割的过程中向切割线网喷洒切割液,用于对切割线网进行冷却,并冲掉线锯上的硅粉,可称为切割喷淋;或者在用于在切割完成后,对切割线网和切割后的硅棒进行喷淋,便于切割线网从切割后的硅棒退出,可称为退刀喷淋。现有技术中,切割机的退刀喷淋通常使用一根钢管安装有成列的喷头来实现,其附加在切割喷淋上,采用喷头喷洒方式,由于空间限制,切割液管路距离退刀喷淋点较远,喷水量受喷头位置限制,其喷淋效果较弱,导致切割线网从硅片中退出困难,进而降低硅片的成品率。
技术实现思路
1、为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种喷淋装置及切割机,能够实现在有限的切割空间里,使退刀喷淋更贴近喷淋点,同时能提供大流量水流,实现对硅片冲击分离作用。<
...【技术保护点】
1.一种喷淋装置,用于在切割机的切割或退刀时对切割线网喷淋液体,其特征在于,包括第一喷淋组件、第二喷淋组件和导流件,所述第一喷淋组件和所述第二喷淋组件层叠设置,所述第一喷淋组件和所述第二喷淋组件进液口均用于通过管道与所述切割机的供液系统连通,所述导流件与第一喷淋组件可转动连接;所述供液系统的液体经所述管道流入所述第一喷淋组件,所述第一喷淋组件内的液体流向导流件后流出。
2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一喷淋组件与述第二喷淋组件并列设置,所述第一喷淋组件位于所述第二喷淋组件上方。
3.根据权利要求1或2所述的喷淋装置,其特征在
...【技术特征摘要】
1.一种喷淋装置,用于在切割机的切割或退刀时对切割线网喷淋液体,其特征在于,包括第一喷淋组件、第二喷淋组件和导流件,所述第一喷淋组件和所述第二喷淋组件层叠设置,所述第一喷淋组件和所述第二喷淋组件进液口均用于通过管道与所述切割机的供液系统连通,所述导流件与第一喷淋组件可转动连接;所述供液系统的液体经所述管道流入所述第一喷淋组件,所述第一喷淋组件内的液体流向导流件后流出。
2.根据权利要求1所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一喷淋组件与述第二喷淋组件并列设置,所述第一喷淋组件位于所述第二喷淋组件上方。
3.根据权利要求1或2所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一喷淋组件包括第一喷淋管和第一腔体,所述第一喷淋管与所述第一腔体连通,所述导流件与所述第一腔体可转动连接;所述液体经所述第一喷淋管进入所述第一腔体后,经所述导流件流出;
4.根据权利要求3所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一喷淋管内设有分液板,所述第一喷淋管底部设有第一出液孔,所述第一喷淋管内液体经所述分液板分液后,经所述第一出液孔流向所述第一腔体;
5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一腔体内设有第一隔板和第二隔板,所述第一隔板和所述第二隔板二者其一设于所述第一腔体顶部并向所述第一腔体底部延伸,另一设于所述第一腔体底部并向所述第一腔体顶部延伸;所述第一隔板和所述第二隔板上下交错设置;所述第一腔体内液体依次经过所述第一隔板、所述第二隔板后流向所述导流件。
6.根据权利要求5所述的喷淋装置,其特征在于,所述第一腔体具有第一导向部,所述第一导向部倾斜设置,自所述第一腔体顶部延伸至所述第二隔板上方;所述第一腔体外侧还设有第一板体,所述第一板体与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张艾贞,李玮渊,赵瑞广,王祖闯,陈俊儒,
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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