光扫描装置制造方法及图纸

一种光扫描装置，其具备：旋转投光元件，能够以旋转轴为中心旋转，并将所入射的光向不同的方向出射；旋转驱动装置，使旋转投光元件旋转；光偏转装置，使来自光源的入射光向包括旋转轴的平面内偏转并作为偏转光入射到旋转投光元件；及控制装置，以从旋转投光元件出射光的投光出射面的法线包含在上述平面内的方式，控制旋转驱动装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术的技术涉及一种光扫描装置。

技术介绍

1、作为能够扫描激光束等光的光扫描装置，已知有旋转激光装置、lidar(lightdetection and ranging：激光探测和测距)装置等。

2、作为用于这些光扫描装置中的扫描方式，已知有使用机械旋转的反射镜等使光偏转的机械方式(例如，参考美国专利申请公开第2017/0269198号说明书或日本特开2002-039755号公报)。并且，除机械方式以外，已知有使用由mems(micro electro mechanicalsystems：微机电系统)构成的可动反射镜(也称为mems反射镜。)使光偏转的mems方式(例如，参考研究论文“resonant biaxial 7-mm mems mirror for omnidirectionalscanning,j.micro/nanolith.mems moems13(1),011103(jan-mar 2014)”)。并且，已知有组合机械方式和mems方式组合而成的方式(例如，参考日本特开2014-109686号公报)。</p>

3、在这本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光扫描装置，其具备：

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其中，

4.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其中，

6.根据权利要求4所述的光扫描装置，其中，

7.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

8.根据权利要求7所述的光扫描装置，其中,

9.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

10.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中,

11.根据权利要求10所述的光扫描装置，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光扫描装置，其具备：

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其中，

4.根据权利要求1所述的光扫描装置，其中，

5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其中，

6.根据权利要求4所述的光扫描装置，其中，

7....

【专利技术属性】
技术研发人员：中林耕基，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：