一种光学装置及光学量测系统制造方法及图纸

一种光学装置及光学量测系统，其中，光学装置包括第一镜筒以及布置于镜筒内的第一光学元件、第二光学元件、第一镜座和第二镜座，第一光学元件与第一镜筒连接，第二光学元件设置于第一镜座，第一镜座设置于第二镜座；第二镜座与第一镜筒连接，以隔离第一镜筒与第一镜座及第一光学元件，第一镜座与第二镜座具有不同的线胀系数，第一镜筒与第二镜座具有相同或相近的线胀系数。利用第一镜筒、第一镜座和第二镜座之间线胀系数的差异，可以于不同线胀系数的结构部件之间造成相向或异向的温度漂移，以补偿第二光学元件相对第一光学元件在第一镜筒轴向上的温度漂移，从而有效提高光学元件之间相对位置的装配准确度，为提高光学聚焦精度创造有利条件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学量测，具体涉及一种光学装置及光学量测系统。

技术介绍

1、在现有的光学检测或量测设备中，为了能够获取足够清晰的样品表面图像，在图像采集之前通常会进行对样品表面进行自动聚焦，自动聚焦包括图像聚焦、干涉聚焦等方式；其中，图像聚焦一般对焦精度较低、对焦速度较慢，适用于精度要求较低的设备，而高精度要求的设备通常会采用干涉聚焦的方法。

2、以干涉聚焦方法为例，需要设置测量光路和参考光路，在参考光路中通过调节参考反射镜与参考物镜的相对位置可以获得更好的干涉条纹，有利于提高干涉聚焦的效果。然而由于材料线胀系数的存在，温度的变化极易造成参考反射镜相对参考物镜焦面位置的温度漂移，引发参考反射镜与参考物镜相对位置的改变，从而影响到干涉聚焦精度，致使设备出现采图模糊、检测或量测准确降低等系列问题。

技术实现思路

1、本专利技术主要解决的技术问题是如何通过温度漂移的补偿与控制提高干涉聚焦的聚焦精度。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种光学装置，包括：

3、第一镜筒；

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述镜座组件还包括固定件；所述固定件与所述第一镜座配合连接，以将所述第二光学元件固定于所述第一镜座；其中：

3.如权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述第一镜座具有在所述轴向上连通的透光窗口和第一装配腔，所述第二光学元件封盖所述透光窗口且布置于所述第一装配腔内；所述固定件设置于所述第一装配腔内，并抵持所述第二光学元件背对所述透光窗口的一侧。

4.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述第一镜座具有在所述轴向上相对的两端；所述第二光学元件设置于所述第一镜座在所述轴向...

【技术特征摘要】

1.一种光学装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述镜座组件还包括固定件；所述固定件与所述第一镜座配合连接，以将所述第二光学元件固定于所述第一镜座；其中：

3.如权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述第一镜座具有在所述轴向上连通的透光窗口和第一装配腔，所述第二光学元件封盖所述透光窗口且布置于所述第一装配腔内；所述固定件设置于所述第一装配腔内，并抵持所述第二光学元件背对所述透光窗口的一侧。

4.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述第一镜座具有在所述轴向上相对的两端；所述第二光学元件设置于所述第一镜座在所述轴向上靠近所述第一光学元件的一端，所述第一镜座在所述轴向上远离所述第一光学元件的一端与所述第二镜座连接，以在所述第一镜座与所述第二镜座的连接处与所述第二光学元件之间形成跨距。

5.如权利要求4所述的光学装置，其特征在于，所述第二镜座的内部形成有第二装配腔，所述第二镜座的外周壁与所述第一镜筒的内壁面彼此抵贴，所述第一镜座插设于所述第二装配腔内；所述第一镜座在所述轴向上远离所述第一光学元件的一端与所述第一镜座螺纹连接，以能够调节所述第二光学元件与所述第二镜座在所述轴向上的相对位置。

6.如权利要求1所述的光学装置，其特征在于，还包括调节组件，所述调节组件包括：<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，吕肃，姚本溪，蒋路翔，陈兴进，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：