【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器，尤其涉及一种金属氧化物半导体纤维气体传感器、其制备方法和一种传感器系统。
技术介绍
1、气体传感器是一种能够将某种气体的浓度转换为对应电信号的转换器。气体传感器根据工作原理的不同可分为半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、电化学气体传感器以及光学气体传感器等。
2、金属氧化物半导体气体传感器是半导体气体传感器中的一种，其由于响应快、灵敏度高、工艺简单、能耗低以及成本低等优点，已经在众多领域得到广泛的应用，如zno、sno2、wo3、fe2o3、nio等都被开发作为气敏材料。目前，常见的金属氧化物半导体气体传感器是将气敏材料分散在去离子水或乙醇中，制作成浆料直接涂覆到陶瓷管基底上或者直接生长在微电机系统(mems)等硬性衬底上。
3、对于陶瓷管结构的气体传感器，一般是在陶瓷管内部放置镍铬加热丝，将气敏材料用乙醇或去离子水分散涂覆在陶瓷管表面，这种方法制作的气体传感器在加热中会消耗大量的电能，导致传感器的整体功耗较高，高功耗不仅增加了使用成本，而且还限制了其在低功耗场...
【技术保护点】
1.一种金属氧化物半导体纤维气体传感器，包括：合金纤维、绝缘层、气体检测电极、金属氧化物半导体气敏层和加热电极；
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述合金纤维选自镍铬合金丝、铜丝、银丝或铁碳合金丝，所述合金纤维的直径≥5μm。
3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述绝缘层为二氧化硅微球包覆层、氧化铝微球包覆层或聚合物包覆层，所述绝缘层的厚度≥1μm。
4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述气体检测电极包括银线、铂线或金线，所述加热电极包括银线、铂线或金线。
5.根据权利要求1所...
【技术特征摘要】
1.一种金属氧化物半导体纤维气体传感器，包括：合金纤维、绝缘层、气体检测电极、金属氧化物半导体气敏层和加热电极；
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述合金纤维选自镍铬合金丝、铜丝、银丝或铁碳合金丝，所述合金纤维的直径≥5μm。
3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述绝缘层为二氧化硅微球包覆层、氧化铝微球包覆层或聚合物包覆层，所述绝缘层的厚度≥1μm。
4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述气体检测电极包括银线、铂线或金线，所述加热电极包括银线、铂线或金线。
5.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述金属氧化物半导体气敏层的金属氧化物包括氧化锌、二氧化锡、三氧化钨、二氧化钛、氧化铁或上述...
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