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一种制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂及其应用制造技术

技术编号:44500599 阅读:32 留言:0更新日期:2025-03-04 18:09
本发明专利技术属于高纯气体制备和催化技术领域,公开了一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂,所述铜铁双组份复合催化剂的制备方法包括如下步骤:将活性炭浸没至盐酸中,用去离子水将其洗至pH中性,干燥后即得预处理后的活性炭载体;将活性组分浸渍到预处理得到的活性炭载体上,超声辅助浸渍,静置后干燥,即得;所述活性组分为Fe金属盐和Cu金属盐。本发明专利技术通过催化石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯与氯化氢气体同时发生反应,实现乙炔和乙烯的同时去除,简化了现有氯化氢提纯工艺中去除乙炔和乙烯的步骤。相比传统方法,本发明专利技术显著提高了制备电子级氯化氢气体的反应效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于高纯气体制备和催化,尤其是一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂。


技术介绍

1、电子级氯化氢气体是超高纯度的氯化氢气体,主要用于半导体、光电和太阳能电池等高科技领域的制造过程,随着国家半导体行业和光电产业的快速发展,对于电子级氯化氢气体的数量和质量要求越来越高,而目前国内市场高度依赖进口,在芯片制造自主化的大背景下,国产替代是未来一大趋势。

2、目前,制备电子级氯化氢的主要方法包括解析法、盐酸脱析法、工业副产酸脱析法、合成法以及石油化工副产氯化氢提纯法。其中,解析法、盐酸脱析法、工业副产酸脱析法和合成法所生产的氯化氢气体纯度较低,已逐渐无法满足电子工业,特别是集成电路生产的需求。相比之下,石油化工副产氯化氢提纯法因其操作简便、生产成本低且产物纯度高,已成为当前工业生产中的主流技术。然而,乙炔和乙烯的去除仍是该方法中亟待解决的技术难题。

3、中国专利(cn1511780a)公开了一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯杂质以制备电子级氯化氢的方法。该方法通过在h本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述铜铁双组份复合催化剂的制备方法包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:步骤(1)中活性炭浸没至盐酸溶液中6-12h;

3.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述Cu金属盐为Cu的氯化物、硫酸盐或硝酸盐,所述Fe金属盐为Fe的氯化物、硫酸盐或硝酸盐;

4.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述Cu金属重量为催化剂总重量的1-15%,所述Fe金属重量为催化剂总重量的1-15...

【技术特征摘要】

1.一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述铜铁双组份复合催化剂的制备方法包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:步骤(1)中活性炭浸没至盐酸溶液中6-12h;

3.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述cu金属盐为cu的氯化物、硫酸盐或硝酸盐,所述fe金属盐为fe的氯化物、硫酸盐或硝酸盐;

4.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述cu金属重量为催化剂总重量的1-15%,所述fe金属重量为催化剂总重量的1-15%;

5.根据权利要求1至4任一项所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:具体步骤如下:

6.如权利要求1至5任一项所述的铜铁双组份复合催化剂在石油化工副产氯化氢气体中...

【专利技术属性】
技术研发人员:张旭斌李锴皓蔡颖辉王录沈文慧李永旺张志伟杨振军马浩靳继超王富民
申请(专利权)人:天津大学
类型:发明
国别省市:

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