【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于高纯气体制备和催化,尤其是一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂。
技术介绍
1、电子级氯化氢气体是超高纯度的氯化氢气体,主要用于半导体、光电和太阳能电池等高科技领域的制造过程,随着国家半导体行业和光电产业的快速发展,对于电子级氯化氢气体的数量和质量要求越来越高,而目前国内市场高度依赖进口,在芯片制造自主化的大背景下,国产替代是未来一大趋势。
2、目前,制备电子级氯化氢的主要方法包括解析法、盐酸脱析法、工业副产酸脱析法、合成法以及石油化工副产氯化氢提纯法。其中,解析法、盐酸脱析法、工业副产酸脱析法和合成法所生产的氯化氢气体纯度较低,已逐渐无法满足电子工业,特别是集成电路生产的需求。相比之下,石油化工副产氯化氢提纯法因其操作简便、生产成本低且产物纯度高,已成为当前工业生产中的主流技术。然而,乙炔和乙烯的去除仍是该方法中亟待解决的技术难题。
3、中国专利(cn1511780a)公开了一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯杂质以制备电子级氯化氢的
...【技术保护点】
1.一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述铜铁双组份复合催化剂的制备方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:步骤(1)中活性炭浸没至盐酸溶液中6-12h;
3.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述Cu金属盐为Cu的氯化物、硫酸盐或硝酸盐,所述Fe金属盐为Fe的氯化物、硫酸盐或硝酸盐;
4.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述Cu金属重量为催化剂总重量的1-15%,所述Fe金属重量为催
...【技术特征摘要】
1.一种去除石油化工副产氯化氢气体中痕量乙炔和乙烯以制备电子级氯化氢气体的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述铜铁双组份复合催化剂的制备方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:步骤(1)中活性炭浸没至盐酸溶液中6-12h;
3.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述cu金属盐为cu的氯化物、硫酸盐或硝酸盐,所述fe金属盐为fe的氯化物、硫酸盐或硝酸盐;
4.根据权利要求1所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:所述cu金属重量为催化剂总重量的1-15%,所述fe金属重量为催化剂总重量的1-15%;
5.根据权利要求1至4任一项所述的铜铁双组份复合催化剂,其特征在于:具体步骤如下:
6.如权利要求1至5任一项所述的铜铁双组份复合催化剂在石油化工副产氯化氢气体中...
【专利技术属性】
技术研发人员:张旭斌,李锴皓,蔡颖辉,王录,沈文慧,李永旺,张志伟,杨振军,马浩,靳继超,王富民,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:
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