一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件的制备方法，该制备方法将ZnO作为牺牲层的材料，采用稀盐酸溶液作为腐蚀溶液，在将ZnO完全腐蚀的同时，还能够避免稀盐酸溶液将绝缘层和介质层腐蚀掉，获得高性能的BAW器件，同时实现与其他无源器件的片上集成。本发明专利技术采用ZnO作为牺牲层，由于其具有与压电层相同的纤锌矿型结构，因此可以用来诱导压电震荡堆的第一电极的晶粒排列，有利于第一电极薄膜择优取向生长，从而进一步使压电层薄膜择优取向生长，使其具有较好的压电性能。本发明专利技术采用SiO2作为钝化保护层和绝缘层，在起到其本身功能的同时还可以额外实现温度补偿的作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于mems器件，具体涉及一种基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法。

技术介绍

1、在手机里,除了通信用的频段快速增加外,还有wifi、蓝牙和导航等应用的专用频段,使得频谱变得日益拥挤，频段间信号的相互干扰成为通信系统必须要解决的重要问题。滤波器是系统中滤除其它频段和恶意干扰信号的关键器件。随着手机频段的快速增加，单部手机中的滤波器数量已从4g时代的30余只快速增加到5g时代的60只以上，旗舰机更是超过100只。

2、频谱的拥挤和滤波器数量的增加，对滤波器的综合性能提出了新的要求:更高的q值、更小的频率温度系数和更小的体积。更高的q值可以保证滤波器有更窄的过渡带，实现更好的滤波效果；更小的频率温度系数，给有用信号预留的保护带宽就越小，进入系统接收端的干扰信号就越少，保证系统在较高的温度范围内保持较好的性能；更小的体积可以帮助实现手机的小型化和轻量化，留给电池更大的空间。

3、通信系统和武器装备的发展对体声波（baw）滤波器提出了高频化、小型化和高温度稳定性的要求。baw滤波器在高频化、小型化方面具有显著优势，虽然其频率温本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，其特征在于，包括：

2.一种基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，其特征在于，包括：

3.根据权利要求1或2所述的基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，其特征在于，所述稀盐酸溶液的浓度为0.1%-30%。

4.根据权利要求1或2所述的基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，其特征在于，形成压电震荡堆包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，所述保护层的材料为SiO2。

6.根据权利要求4所述的基于新型牺牲层工艺的BAW器件制备方法，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法，其特征在于，包括：

2.一种基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法，其特征在于，包括：

3.根据权利要求1或2所述的基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法，其特征在于，所述稀盐酸溶液的浓度为0.1%-30%。

4.根据权利要求1或2所述的基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法，其特征在于，形成压电震荡堆包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的基于新型牺牲层工艺的baw器件制备方法，所述保护层的材料为sio2。

6.根据权利要求4所述的基于新型牺牲层...

【专利技术属性】
技术研发人员：轩伟鹏，郭欣宇，董树荣，金浩，李文钧，孙玲玲，刘军，骆季奎，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：