【技术实现步骤摘要】
本申请涉及阀门，尤其是涉及一种膜片阀。
技术介绍
1、膜片阀作为一种重要的流体控制设备，它通过膜片的变形来控制阀门的开启和关闭；其膜片不仅将介质与大气隔开，还通过自身的变形来调节阀门的开度。膜片阀具有密封性好、可靠性高、死区小、适用范围广等特点。因此得到了广泛运用。例如，在高纯气体系统中，膜片阀能够有效地隔离介质与大气，防止污染，同时其结构设计和材料选择也确保了其在高压、真空、高低温环境下的稳定性和耐用性。膜片阀的应用不仅限于发动机系统，还广泛应用于其他需要精确控制和隔离的工业和科学领域，例如在半导体和光伏产业中，膜片阀用于高温气体的关断功能等。
2、随着半导体和光伏材料制造技术的发展，对膜片阀的性能要求也越来越高，有时候需要精准控制通过膜片阀的气体流量。阀门的cv值（circulation volume）是衡量阀门流通能力的重要参数，定义为单位时间内、在恒定压力下，管道介质流经阀门的体积流量。正确计算和选择cv值是保障管道流量控制系统正常工作的重要步骤。流量系数值越大，说明流体流过阀门时的压力损失越小，阀门的流通能力越大
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种膜片阀，包括阀体(10)，所述阀体(10)内设置有安装腔(121)，所述安装腔(121)内设置有活塞组件(20)和推动所述活塞组件(20)在所述安装腔(121)内移动的弹性件(60)；
2.根据权利要求1所述的膜片阀，其特征在于，所述阀体(10)包括母体(11)、气缸下盖(12)和气缸上盖(13)；所述母体(11)与所述气缸下盖(12)的一端相固连，所述气缸上盖(13)可拆卸的固连在所述气缸下盖(12)的另一端并用于封闭所述安装腔(121)的端口；所述弹性件(60)的两端分别作用在所述气缸上盖(13)的内侧面和所述活塞组件(20)上；所述限位调节结...
【技术特征摘要】
1.一种膜片阀，包括阀体(10)，所述阀体(10)内设置有安装腔(121)，所述安装腔(121)内设置有活塞组件(20)和推动所述活塞组件(20)在所述安装腔(121)内移动的弹性件(60)；
2.根据权利要求1所述的膜片阀，其特征在于，所述阀体(10)包括母体(11)、气缸下盖(12)和气缸上盖(13)；所述母体(11)与所述气缸下盖(12)的一端相固连，所述气缸上盖(13)可拆卸的固连在所述气缸下盖(12)的另一端并用于封闭所述安装腔(121)的端口；所述弹性件(60)的两端分别作用在所述气缸上盖(13)的内侧面和所述活塞组件(20)上；所述限位调节结构(70)设置在所述气缸上盖(13)上。
3.根据权利要求2所述的膜片阀，其特征在于，所述气缸上盖(13)的内侧面上具有朝向所述安装腔(121)内部的安装筒(131)，所述活塞组件(20)包括滑动设置在所述安装腔(121)内的第一活塞(21)；所述第一活塞(21)包括第一活塞杆(211)和固设在第一活塞杆(211)端部的第一活塞盘(212)，所述第一活塞杆(211)滑动插设在所述安装筒(131)内；所述限位调节结构(70)设置在所述安装筒(131)内用于限制所述第一活塞杆(211)的位置。
4.根据权利要求3所述的膜片阀，其特征在于，所述第一活塞杆(211)的外周面与所述安装筒(131)的腔壁之间设置有第一密封圈(41)，所述安装筒(131)内还设置有垫套(100)，所述垫套(100)套设在所述第一活塞杆(211)上且所述垫套(100)位于所述第一密封圈(41)与所述第一活塞盘(212)之间；所述第一活塞盘(212)的外周面与所述安装腔(121)的腔壁之间设置有第二密封圈(42)。
5.根据权利要求3所述的膜片阀，其特征在于，所述限位调节结构(70)包括能够放置在所述安装筒(131)内的垫片(71)，所述安装筒(131)的内壁上具有限位部(1311)，所述垫片(71)放置在安装筒(131)时，所述垫片(71)的一侧抵靠在所述限位部(1311)上，另一侧抵靠在所述第一活塞杆(211)的端面上，通过更换不同厚度规格的垫片(71)或者增减安装筒(131)内垫片(71)的数量来调节所述第一活塞杆(211)的极限位置。
6.根据权利要求2或3或4或5所述的膜片阀，其特征在于，所述气缸上...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘家乐，杨文，
申请(专利权)人：上海皓固机械工业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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