【技术实现步骤摘要】
本申请涉及多晶硅生产，尤其涉及一种多晶硅尾气回收系统及多晶硅生产系统。
技术介绍
1、多晶硅生产系统中尾气回收工序的再生系统中，过滤器接收还原以及氢化的氢气，其中氢气里会携带一定程度的硅粉，工作一定时间后，过滤后的硅粉会附着在滤芯上，造成滤芯的堵塞，过滤器压差变高，不利于过滤器的使用，故需要采用电磁脉冲喷吹阀对滤芯进行定期反吹处理。
2、电磁脉冲喷吹阀使用时通电，电磁线圈受控后，激磁电流开始以指数关系上升，待衔铁磁化后超过弹簧和其他相关因素阻力后，才开始移动，然后气隙变小，线圈电感增加，同时抑制吸引力，最后衔铁与磁轭接触到闭合位置，因动铁芯与泄压孔的关系，电磁脉冲喷吹阀每动作一次，泄压孔都会打开进行泄压，然后关闭，泄出一定的气体，由于多晶硅生产系统的过滤器常用的反吹气为氢气，所以反吹作业后，泄压孔会泄出氢气至工作环境中，因此现场会存在一定的安全隐患。并且泄出的氢气还会造成氢耗，从而增加企业的生产成本。
技术实现思路
1、基于此，本申请提供了一种多晶硅尾气回收系统及多晶硅生产系统...
【技术保护点】
1.一种多晶硅尾气回收系统，其特征在于，包括过滤器、电磁脉冲喷吹阀及反吹气包，所述电磁脉冲喷吹阀与所述过滤器之间设有氢气反吹管线，所述氢气反吹管线的进气端与所述电磁脉冲喷吹阀的出气端连接，所述氢气反吹管线的出气端与所述过滤器连接，所述电磁脉冲喷吹阀的进气端连接所述反吹气包的出气端，所述反吹气包的进气端连接来源氢气管线，所述电磁脉冲喷吹阀的泄压孔连接泄压孔排气管线。
2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述多晶硅尾气回收系统还包括控制单元，所述控制单元与所述电磁脉冲喷吹阀连接。
3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气回收系统，其特...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅尾气回收系统，其特征在于，包括过滤器、电磁脉冲喷吹阀及反吹气包，所述电磁脉冲喷吹阀与所述过滤器之间设有氢气反吹管线，所述氢气反吹管线的进气端与所述电磁脉冲喷吹阀的出气端连接，所述氢气反吹管线的出气端与所述过滤器连接，所述电磁脉冲喷吹阀的进气端连接所述反吹气包的出气端，所述反吹气包的进气端连接来源氢气管线，所述电磁脉冲喷吹阀的泄压孔连接泄压孔排气管线。
2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述多晶硅尾气回收系统还包括控制单元，所述控制单元与所述电磁脉冲喷吹阀连接。
3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述反吹气包连接有第一压力器，所述来源氢气管线设有第一阀门，所述控制单元分别与所述第一压力器及所述第一阀门连接。
4.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述过滤器的进气端连接尾气输入管线，所述过滤器的底部连接硅粉收集管线，所述过滤器的顶部连接氢气输出管线。
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：任涛，王富，高俊海，赵江，宋涛，马鑫，李超，
申请(专利权)人：青海丽豪清能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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