具有反射侧壁的高密度微型LED阵列制造技术

微型LED结构包括LED外延层，该LED外延层可在微型LED结构耦接至背板基板之前形成。为了防止漏光且最大化光输出，LED外延层的侧壁及其他表面可涂布有反射涂层。例如，反射涂层可包括在介电层之间与微型LED电极电绝缘的金属层。反射涂层亦可使用多层以分布式布拉格反射器的配置形成。该反射涂层可在微型LED结构耦接至背板之前的LED制造处理期间形成。背板上的像素隔离结构亦可包括施加于LED外延层之上的反射涂层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本
技术实现思路
涉及微型发光二极管（light-emitting diode; led）结构。更特定言之，本公开内容描述了具有反射侧壁以防止漏光且提高led效率的微型led阵列。

技术介绍

1、高分辨率发光二极管（led）显示器可包括被布置为形成观看屏幕的数百万个微米大小的像素。例如，微型led表示一种用于平板显示器的新兴显示技术，这些平板显示器比其他显示器类型提供高的对比度、响应时间，及更大的能量效率。微型led显示器通过被布置为形成各个像素元素的显微型led的阵列所驱动。

技术实现思路

1、在一些实施方式中，微型发光二极管（micro-light-emitting-diode; micro-led）结构可包括第一电极，该第一电极被配置为耦接至背板上的对应第二电极，该背板包含微型led结构的阵列；led外延层，包含耦接至该电极的第一侧及在远离该背板的方向上延伸的侧壁；以及施加至led外延层的侧壁的反射涂层。

2、在一些实施方式中，一种制造微型led结构的方法可包括在基板上形成led外延层，其中led外本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微型发光二极管（micro-LED）结构，包含：

2.根据权利要求1所述的微型LED结构，其中所述反射涂层实质上覆盖所述LED外延层的所述侧壁以防止所述LED外延层的所述侧壁的漏光。

3.根据权利要求1所述的微型LED结构，其中所述反射涂层进一步覆盖所述LED外延层的所述第一侧的一部分。

4.根据权利要求3所述的微型LED结构，其中所述反射涂层在所述LED外延层的所述第一侧上留下开口，所述第一电极耦接至所述第一侧。

5.根据权利要求1所述的微型LED结构，进一步包含在所述LED外延层与所述反射涂层之间的第一介电层。

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种微型发光二极管（micro-led）结构，包含：

2.根据权利要求1所述的微型led结构，其中所述反射涂层实质上覆盖所述led外延层的所述侧壁以防止所述led外延层的所述侧壁的漏光。

3.根据权利要求1所述的微型led结构，其中所述反射涂层进一步覆盖所述led外延层的所述第一侧的一部分。

4.根据权利要求3所述的微型led结构，其中所述反射涂层在所述led外延层的所述第一侧上留下开口，所述第一电极耦接至所述第一侧。

5.根据权利要求1所述的微型led结构，进一步包含在所述led外延层与所述反射涂层之间的第一介电层。

6.根据权利要求5所述的微型led结构，进一步包含在所述反射涂层上方的第二介电层。

7.根据权利要求6所述的微型led结构，其中所述第一介电层及所述第二介电层包围所述反射涂层以将所述反射涂层与所述第一电极电隔离。

8.根据权利要求1所述的微型led结构，其中所述反射涂层包含金属层。

9.根据权利要求1所述的微型led结构，其中所述反射涂层包含来自由以下各者组成的群组的材料：al、rh、pt、ag、au及cr。

10.根据权利要求1所述的微型led结构，其中所述反射涂层包含分布式布拉格反射器（dbr）的多层。

11.根据权利要求10所述的微型led结...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁凯，徐立松，朱明伟，李志勇，黄浩智，斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘，奈格·帕蒂班德拉，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：