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一种基于铌酸锂单晶薄膜的奇异点光子陀螺芯片制造技术

技术编号:44386200 阅读:19 留言:0更新日期:2025-02-25 10:01
本发明专利技术公开了一种基于铌酸锂单晶薄膜的非厄米奇异点光子陀螺。包括位于封装外壳内的宽谱光源、模斑转换器、起偏器、陀螺敏感单元、光电探测器和铌酸锂薄膜层;宽谱光源、模斑转换器、起偏器、陀螺敏感单元和光电探测器均位于铌酸锂薄膜层上表面并沿光路方向依次布置;宽谱光源出射的光依次经模斑转换器、起偏器和陀螺敏感单元后被光电探测器接收。本发明专利技术利用铌酸锂的电光效应,通过施加电压调整微腔的谐振频率保持陀螺敏感单元在初始状态下处在奇异点,抵消了外界因素的干扰;构建的反宇称‑时间反演对称结构,利用奇异点对外界微扰的敏感性,提高了陀螺敏感单元的灵敏度,且具有灵敏度高、体积小、实用性强可集成的优势。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成光学和惯性传感领域的一种,具体涉及一种基于铌酸锂单晶薄膜的奇异点光子陀螺芯片


技术介绍

1、陀螺仪是一种测量运动载体旋转角速度的工具,在惯性导航、惯性制导和惯性测量系统中扮演着及其重要的角色,受到十分广泛的应用。惯性系统的性能很大程序上决定于陀螺仪的性能。按照基本工作原理,可以分为以经典力学为基础的机械陀螺,和另一种基于近代光学效应的光学陀螺。

2、机械陀螺内部运动部件的存在使得其功耗和体积都较大,还存在抗振、抗冲击能力不强、对重力加速度敏感等问题,限制了其在某些领域的应用。以光学sagnac效应为基础的光学陀螺的出现,为陀螺仪的应用选择提供了全新的思路。自光学sagnac效应被提出以来,光学陀螺经历了从环形激光陀螺(rlg)到光纤陀螺的发展历程。目前,rlg技术已十分成熟并被应用在诸多高精度导航领域,但其内部光电器件众多,体积大且造价昂贵,不利于向小型化发展。光纤陀螺虽然在一定程度上解决了上述问题,但sagnac效应产生的信号与光纤长度、光纤环的半径成正比,其性能的提升以光纤长度和光纤环半径的增加为代价,因此存在高灵敏度和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于铌酸锂单晶薄膜的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

2.如权利要求1所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

3.如权利要求2所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

4.如权利要求1所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

5.如权利要求4所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

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【技术特征摘要】

1.一种基于铌酸锂单晶薄膜的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

2.如权利要求1所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

3.如权利要求2所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

4.如权利要求1所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

5.如权利要求4所述的奇异点光子陀螺芯片,其特征在于:

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【专利技术属性】
技术研发人员:佘玄黄飞毕然王磊陈侃舒晓武
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:

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