基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统以及方法技术方案

本发明专利技术涉及反射镜检测技术领域，具体公开基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统以及方法，在检测系统中：激光水平仪一侧激光射至基准墙面，以获取作为参考基准的基准光线；激光水平仪另一侧激光分别经干涉仪、辅助平面反射镜组件和离轴凹抛物面反射镜组件上设置的平面反射镜反射至基准墙面，并调整各个部件的相对位置使反射至基准墙面的光线和基准光线重合。本发明专利技术能够快速建立空间基准的测量方法提升检测效率以及检测精度；本发明专利技术引入激光水平仪作为准直激光后，易建立参考基准；通过平面反射镜的巧妙设置使得本发明专利技术能够直观的反应各个元器件之间的基准关系，从而进行修正。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及反射镜检测，具体涉及基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统以及方法。

技术介绍

1、在光学设计中，球面元件具有像差校正能力且容易加工制造，通常用于镜头、望远镜、激光器等光学系统中。随着对光学系统成像质量要求的不断提高，虽然通过增加镜片数量可以完成系统像差的校正，但这种做法会增加系统的体积和质量，从而不适应轻量化与小型化的发展趋势。

2、非球面光学元件由于其曲率的变化可以有效矫正像差，提升成像质量，同时满足光学系统轻便化发展的要求，在航空航天、医疗，以及高功率激光领域中具有更加广泛的应用场景。除上述优点外，离轴非球面因其几何轴与光轴不重合，为光学系统的设计提供了更多的像差矫正自由度。虽然离轴非球面有助于解决元件中心遮拦降低成像质量的问题，但几何轴与光轴的不重合增加了元件面形的检测难度。对于离轴非球面的检测来说，最常用的方法是干涉法和轮廓仪法。干涉检测的优点是高分辨、高精度、高灵敏度，且随着计算全息补偿器技术的发展，在离轴非球面的测量精度和效率都比较高，但是其检测精度易受环境影响，对检测环境的要求高，同时增加了检测成本。而对于轮廓本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，包括：干涉仪基准部件、辅助平面反射镜基准部件以及离轴凹抛物面反射镜基准部件；

2.根据权利要求1所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，所述辅助平面反射镜组件由辅助平面反射镜（4）和适配的平面反射镜安装架（5）构成；

3.根据权利要求2所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，所述离轴凹抛物面反射镜组件由工装架（6）、反射镜镜室（7）和离轴凹抛物面反射镜（8）构成；

4.根据权利要求3所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的离轴凹抛物面反射...

【技术特征摘要】

1.基于无像差点法对离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，包括：干涉仪基准部件、辅助平面反射镜基准部件以及离轴凹抛物面反射镜基准部件；

2.根据权利要求1所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，所述辅助平面反射镜组件由辅助平面反射镜（4）和适配的平面反射镜安装架（5）构成；

3.根据权利要求2所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于，所述离轴凹抛物面反射镜组件由工装架（6）、反射镜镜室（7）和离轴凹抛物面反射镜（8）构成；

4.根据权利要求3所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的离轴凹抛物面反射镜检测系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭名航，戴明，洪永丰，张斌，辛相锦，张涵，
申请(专利权)人：长春通视光电技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：