【技术实现步骤摘要】
本技术涉及cfr药水槽,具体涉及一种便于维护的cfr药水槽。
技术介绍
1、在半导体制造和其他工业领域中,cfr药水槽是不可或缺的工艺设备,它负责储存和处理药水,以确保生产过程的顺利进行,然而,长时间使用后,cfr药水槽的内腔往往会残留一些灰尘和药水的废液,这些残留物不仅会影响药水槽的正常运行,还可能对生产的稳定性和产品质量造成潜在威胁。
2、传统的cfr药水槽在清洁方面存在诸多不足,首先,由于设计上的限制,水槽的内部结构往往较为复杂,难以彻底清洁,灰尘和废液容易在死角和缝隙中积聚,导致清洁不彻底,增加了维护的难度和成本;其次,传统的清洁方法往往依赖于人工操作,效率低下且存在安全隐患,操作人员需要进入水槽内部或使用特殊工具进行清洁,这不仅费时费力,还容易对水槽的材质和性能造成损害;此外,对于某些具有腐蚀性和有害性的药水,传统的清洁方法可能无法有效去除残留物,甚至会对操作人员造成健康风险,因此,开发一种便于维护的cfr药水槽,能够高效、安全地清洁内腔残留物,成为当前工业领域亟待解决的问题。
技术实现
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1.一种便于维护的CFR药水槽,包括支撑板(1);其特征在于:所述支撑板(1)上端固定连接有药水槽结构(2),所述药水槽结构(2)包括槽本体(21),所述槽本体(21)下部一侧固定连接有水阀(22),且水阀(22)内腔与槽本体(21)内腔相通,所述槽本体(21)外表面上部固定连接有若干连接板一(23),若干所述连接板一(23)共同固定连接有升降结构(3),所述支撑板(1)上端一侧固定连接有清洗结构(5),所述升降结构(3)上部固定连接有旋转结构(4)。
2.根据权利要求1所述的一种便于维护的CFR药水槽,其特征在于:所述槽本体(21)一侧开设有观察窗(21
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【技术特征摘要】
1.一种便于维护的cfr药水槽,包括支撑板(1);其特征在于:所述支撑板(1)上端固定连接有药水槽结构(2),所述药水槽结构(2)包括槽本体(21),所述槽本体(21)下部一侧固定连接有水阀(22),且水阀(22)内腔与槽本体(21)内腔相通,所述槽本体(21)外表面上部固定连接有若干连接板一(23),若干所述连接板一(23)共同固定连接有升降结构(3),所述支撑板(1)上端一侧固定连接有清洗结构(5),所述升降结构(3)上部固定连接有旋转结构(4)。
2.根据权利要求1所述的一种便于维护的cfr药水槽,其特征在于:所述槽本体(21)一侧开设有观察窗(211)。
3.根据权利要求2所述的一种便于维护的cfr药水槽,其特征在于:所述槽本体(21)内腔底壁靠近水阀(22)一侧的水平高度低于槽本体(21)内腔底壁远离水阀(22)一侧的水平高度。
4.根据权利要求1所述的一种便于维护的cfr药水槽,其特征在于:所述升降结构(3)包括两个电动伸缩杆(31),两个所述电动伸缩杆(31)均与若干连接板一(23)固定连接,所述电动伸缩杆(31)伸缩杆外表面中部滑动连接有槽盖(32),所述电动伸缩杆(31)伸缩杆外表面上部固定连接有连接板二(33),所述电动伸缩杆(31)伸缩杆外表面上...
【专利技术属性】
技术研发人员:林嘉佑,
申请(专利权)人:台嘉成都玻纤有限公司,
类型:新型
国别省市:
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