一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置制造方法及图纸

本技术涉及一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，属于等离子体温度检测技术领域，包括热电偶仪主体，所述热电偶仪主体外表面的下端固定有保护套，所述热电偶仪主体的外表面设有拆装套，所述保护套的外表面固定有连块，所述拆装套的外表面固定有插块，所述连块的下端开设有T形槽，所述插块的内部设有用于其与连块连接固定的拆装组件，所述拆装组件包括与插块内部滑动连接的两个限位块。该用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，通过保护套、拆装套、连块、插块与拆装组件，当热电偶对等离子体进行测温时，能够将拆装套与保护套拆分开，使热电偶的电偶丝能够直接对等离子体腔内进行测温，能够保障等离子体腔内温度检测时的精准性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及等离子体温度检测，具体为一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置。

技术介绍

1、等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体，等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态。物质由分子构成，分子由原子构成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成。

2、需对等离子体腔内的温度进行检测时，通常会使用热电偶传感器对等离子体气体的温度进行检测，目前市面上的热电偶仪器的电偶丝的外部通常会固定有保护套，以便能够对电偶丝进行保护，并通过在保护套的下端开设有检测孔，便于电偶丝对等离子体进行温度测量，但因保护套与热电偶传感器通常为固定的，热电偶插进存储等离子体的存储设备内时，保护套也会插接至等离子体存储设备内，电偶丝对等离子体腔内进行测温时，保护套会隔绝一定的温度，导致热电偶所测量温度的精准性较差。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，具备检测精准等本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，包括热电偶仪主体(1)，其特征在于：所述热电偶仪主体(1)外表面的下端固定有保护套(2)，所述热电偶仪主体(1)的外表面设有拆装套(3)，所述保护套(2)的外表面固定有连块(4)，所述拆装套(3)的外表面固定有插块(5)，所述连块(4)的下端开设有T形槽(6)，所述插块(5)的内部设有用于其与连块(4)连接固定的拆装组件；

2.根据权利要求1所述的一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，其特征在于：所述插块(5)插接于T形槽(6)的内侧，所述T形槽(6)内腔的左右两壁均开设有限位孔，所述限位块(61)位于插接的内部且与其限位孔的...

【技术特征摘要】

1.一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，包括热电偶仪主体(1)，其特征在于：所述热电偶仪主体(1)外表面的下端固定有保护套(2)，所述热电偶仪主体(1)的外表面设有拆装套(3)，所述保护套(2)的外表面固定有连块(4)，所述拆装套(3)的外表面固定有插块(5)，所述连块(4)的下端开设有t形槽(6)，所述插块(5)的内部设有用于其与连块(4)连接固定的拆装组件；

2.根据权利要求1所述的一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，其特征在于：所述插块(5)插接于t形槽(6)的内侧，所述t形槽(6)内腔的左右两壁均开设有限位孔，所述限位块(61)位于插接的内部且与其限位孔的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，其特征在于：所述插块(5)的左右两端均开设有圆孔，所述限位块(61)滑动连接于圆孔的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于高精度等离子体腔内的温度检测装置，其特征在于：两个所述支板(63)相对的一侧均开设有贯穿孔，所述限位块(61)滑动连接于贯穿孔的内侧，两个所述支板(63)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高川，
申请(专利权)人：武汉正则时空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：