内建电子倍增功能型的固体摄像元件制造技术

本发明专利技术的内建电子倍增功能型的固体摄像元件具备：由多个垂直移位寄存器构成的摄像区域（ＶＲ）；传送来自摄像区域（ＶＲ）的电子的水平移位寄存器（ＨＲ）；倍增来自水平移位寄存器（ＨＲ）的电子的倍增寄存器（ＥＭ）；及设置于摄像区域（ＶＲ）的电子传送方向的始点侧的端部的电子注入用电极（１１Ａ）。通过电子注入用电极（１１Ａ）被注入电子的特定的垂直移位寄存器（信道（ＣＨ１））位于半导体基板的厚板部，且被设定成相对于入射光被遮光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种内建电子倍增功能型的固体摄像元件，其特征在于：具备：摄像区域，其由多个垂直移位寄存器构成；水平移位寄存器，其传送来自所述摄像区域的电子；倍增寄存器，其倍增来自所述水平移位寄存器的电子；及电子注入单元，其设置于所述摄像区域的电子传送方向的始点侧的端部；且由所述电子注入单元注入电子的特定的垂直移位寄存器被设定为受到隔绝而不被入射光照射。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木久则，米田康人，高木慎一郎，前田坚太郎，村松雅治，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]