基于MEMS谐振器的无线无源测温系统及其测温方法技术方案

本发明专利技术提供一种基于MEMS谐振器的无线无源测温系统及其测温方法，其中系统包括与MEMS谐振器及对应接口电路构成的MEMS振荡器，用于产生基准频率信号；锁相环，用于产生高频信号；无源倍频器，用于倍频所述锁相环输出的高频频率；耦合器，用于将倍频后的高频信号分为两路谐波信号；可调滤波器，用于选择目标谐波信号；双极化天线，用于将目标谐波信号发送至终端并接收终端发射的电磁波信号；整流模块，用于将电磁波信号和所述耦合器反射的谐波信号转换为直流电；能量管理模块，用于对直流电进行存储与稳压输出，以对所述MEMS振荡器和锁相环进行能量供给。本发明专利技术能够实现无源无线温度检测的远距离传输，并保证测量的精度和分辨率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于温度监测，尤其涉及一种基于mems谐振器的无线无源测温系统。

技术介绍

1、随着工业自动化和智能化的发展，对设备运行状态的实时监控变得尤为重要。温度作为设备运行状态的重要指标之一，其精确测量对于预防设备故障、保障生产安全具有重要意义。传统的温度测量方法，如热电偶、热敏电阻等，虽然应用广泛，但在某些特殊环境下，如高温、高压、腐蚀性等环境，或者对于难以接触的设备，这些方法的应用受到限制。

2、近年来，无线无源测温技术因其安装方便、维护成本低、不受环境限制等优点，逐渐成为温度监测领域的研究热点。无线无源测温技术利用无线信号传递温度信息，无需外部电源供电，适合于多种应用场景，如制造业、物流与仓储、电力系统等。

3、mems(微机电系统)谐振器作为一种新型的传感器技术，因其体积小、重量轻、可集成度高、成本低等优点，在无线无源测温系统中显现出巨大的应用潜力。mems谐振器通过检测谐振频率的变化来感知温度变化，具有宽温度覆盖、高q值、高灵敏度、高线性度、高分辨率等特性。

4、然而，现有的基于mems谐振器的无线无源测温系本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于MEMS谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于MEMS谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，倍频后温度分辨率△T为：

3.根据权利要求1所述的基于MEMS谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，所述终端的天线为双极化天线，终端侧的双极化天线和MEMS谐振器侧的双极化天线为±45°极化形式。

4.根据权利要求1所述的基于MEMS谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，所述双极化天线的工作带宽满足温度变化范围下的频率偏移，且双极化天线的工作带宽大于或等于倍频后的频率偏移。

5.根据权利要求4所述的基于...

【技术特征摘要】

1.一种基于mems谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于mems谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，倍频后温度分辨率△t为：

3.根据权利要求1所述的基于mems谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，所述终端的天线为双极化天线，终端侧的双极化天线和mems谐振器侧的双极化天线为±45°极化形式。

4.根据权利要求1所述的基于mems谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，所述双极化天线的工作带宽满足温度变化范围下的频率偏移，且双极化天线的工作带宽大于或等于倍频后的频率偏移。

5.根据权利要求4所述的基于mems谐振器的无线无源测温系统，其特征在于，根据以下公式计算倍频后的频率偏...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘昌荣，聂宝清，徐大诚，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：