【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电探测器领域，具体地，涉及一种带间级联红外光子探测器及其制备方法。
技术介绍
1、3-5μm中波红外(mid-wave infrared,mwir)是重要的大气窗口，大气环境对这个窗口波段的吸收是透明的。合理运用这些波段，研制光电探测器，在军事上对海陆空进行三位一体战略部署，具有重要的战略意义。在军事方面，可用于航空航天遥感、红外军事探测、红外制导。在环境探测方面，红外探测器可用于全球冰云探测、分析气候变化。深空外星探索、医疗成像，结合人工智能，构建数字城市和智能地球。此外，在通信的运用上，部署地空高速通信系统，对于全球宽带网络的发展至关重要。中红外波长为构建此类系统提供了众多优势，广泛应用于构建具有低大气衰减和抵御恶劣天气条件的自由空间光通信系统。光电探测器作为光探测和测距系统的关键组成部分，在汽车自动驾驶传感，气体监测等领域有着非常重要的应用。
2、随着中红外器件的高速发展，已经探索出了高性能的红外光源例如量子级联激光器、带间级联激光器等，具有宽光谱范围、高分辨率、采集时间快特点的中红外光频梳，而高速光电...
【技术保护点】
1.一种带间级联红外光子探测器，所述探测器入光方式为正入射，探测器台面为圆形台面，其特征在于，由下至上包括衬底、N型接触层、若干个级联区和P型接触层；所述级联区由下至上包括电子势垒层、吸收层和空穴势垒层，其中所述电子势垒层为多量子阱结构，所述吸收层为超晶格，所述空穴势垒层为渐变多量子阱结构。
2.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述探测器台面的直径为20μm。
3.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述N型接触层的材料采用N型重掺杂的GaSb材料。
4.根据权利要求1所述的一种带...
【技术特征摘要】
1.一种带间级联红外光子探测器，所述探测器入光方式为正入射，探测器台面为圆形台面，其特征在于，由下至上包括衬底、n型接触层、若干个级联区和p型接触层；所述级联区由下至上包括电子势垒层、吸收层和空穴势垒层，其中所述电子势垒层为多量子阱结构，所述吸收层为超晶格，所述空穴势垒层为渐变多量子阱结构。
2.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述探测器台面的直径为20μm。
3.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述n型接触层的材料采用n型重掺杂的gasb材料。
4.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述电子势垒层采用alsb/gasb/alsb/gasb/alsb多量子阱结构，alsb的厚度设置为1.6nm，gasb厚度设置为3.0nm，价带能级位置为0.501ev，与弛豫区最低导带能级0.502ev对准，高于所述吸收层的价带。
5.根据权利要求1所述的一种带间级联红外光子探测器，其特征在于，所述吸收层采用...
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