多通道带通滤波器设计方法、制备方法、测试方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种多通道带通滤波器设计方法、制备方法、测试方法及装置，包括：设计8～12μm长波红外多谱段带通滤波器，初始膜系结构为Sub|(HL)<supgt;s</supgt;2H(LH)<supgt;s</supgt;|Air；向初始膜系结构中引入匹配层结构，引入匹配层后的膜系结构为Sub|aLbH cL(HL)<supgt;s</supgt; 2H(LH)<supgt;s</supgt; dL|Air，其中，aLbH cL和dL为匹配层，a、b、c和d为匹配层系数；根据谱段范围选取合适的中心波长，利用膜系设计软件进行多次模拟，去掉虚设层的膜系结构为Sub|aLbH cL dL|Air，对去掉虚设层的膜系结构进行优化以确定匹配层系数；基于确定的匹配层系数，确定优化后的膜系结构为Sub|1.8LHL(HL)<supgt;1</supgt;2H(LH)<supgt;1</supgt;1.8L|Air。应用本发明专利技术的技术方案，以解决现有技术中红外成像检测灵敏度和准确性差，且只能响应单一气体的红外波段的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外光谱成像，尤其涉及一种多通道带通滤波器设计方法、制备方法、测试方法及装置。

技术介绍

1、石油化工行业是推进我国经济高质量发展的重点和关键行业之一，石油气等烷烃类易燃易爆气体一旦发生泄漏，极有可能引发火灾、爆炸等事故，不仅污染环境、影响企业的正常生产，还会严重威胁社会和人民的生命财产安全。因石油气具有无色无味的特点，在其发生微量泄漏时，不易被工作人员察觉，因此产生安全隐患。近年来，石化企业针对石油气泄漏进行检测和定位的需求日益增大，同时提出了高可靠性、高灵敏度、高稳定性的检测要求。国内外化工企业致力于应用具有更高性能的气体泄漏检测设备，相关检测技术与仪器设备开发已成为国内外亟待解决的研究重点。

2、在石油危险气体泄漏检测中，要重点监测可燃性气体(如甲烷、乙烷等)、硫化氢、一氧化碳、氨气、二氧化硫、氮氧化物和挥发性有机物vocs等气体的泄漏，以及缺氧气体的浓度。通过实时监测这些气体的浓度，及时发现泄漏事故，采取相应的安全措施，确保油气作业过程中的安全和环保。危险气体的特征峰集中在8～12μm长波红外波段。p>

3、光谱成本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多通道带通滤波器设计方法，其特征在于，所述多通道带通滤波器设计方法包括：

2.根据权利要求1所述的多通道带通滤波器设计方法，其特征在于，所述高折射率材料H为Ge，低折射率材料L为ZnS。

3.一种多通道带通滤波器，其特征在于，所述多通道带通滤波器使用如权利要求1或2所述的多通道带通滤波器设计方法进行设计。

4.根据权利要求3所述的多通道带通滤波器，其特征在于，所述多通道带通滤波器的膜系结构为1.8LHL(HL)12H(LH)11.8L，其中，1.8LHL为第一匹配层，1.8L为第二匹配层，(HL)12H(LH)1为虚设层。</p>

5.根据...

【技术特征摘要】

1.一种多通道带通滤波器设计方法，其特征在于，所述多通道带通滤波器设计方法包括：

2.根据权利要求1所述的多通道带通滤波器设计方法，其特征在于，所述高折射率材料h为ge，低折射率材料l为zns。

3.一种多通道带通滤波器，其特征在于，所述多通道带通滤波器使用如权利要求1或2所述的多通道带通滤波器设计方法进行设计。

4.根据权利要求3所述的多通道带通滤波器，其特征在于，所述多通道带通滤波器的膜系结构为1.8lhl(hl)12h(lh)11.8l，其中，1.8lhl为第一匹配层，1.8l为第二匹配层，(hl)12h(lh)1为虚设层。

5.根据权利要求4所述的多通道带通滤波器，其特征在于，所述多通道带通滤波器的膜层总厚度为10.41μm，膜层层数为9层，中心波长为9.98μm，峰值透过率为99.16％，通带半宽度为0.41μm。

6.一种多通道带通滤波器的制备方法，其特征在于，所述多通道带通滤波器的制备方法用于制备如权利要求3至5中任一项所述的多通道带通滤波器。

【专利技术属性】
技术研发人员：姜洪妍，王天鹤，赵安娜，张云昊，刘鑫，赵帅，周志远，潘建旋，王才喜，
申请(专利权)人：天津津航技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：