【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电主轴领域，具体地说是一种8万转/min的超声波气静压电主轴。
技术介绍
1、超声波气静压电主轴常用作于机械加工领域，通过高转速来带动工件或刀具来进行切削，超声波气静压电主轴没有传统超声波的超声电源，换能器等，通过将超声波装置内置于转轴内即可实现对超声波的停启工作，转轴通过超声波震动和进气配合处于气悬浮状态，从而具有高转速、高精度、长寿命的优点；
2、申请人在先申请的一种半导体晶圆研磨用超声波气静压永磁同步电主轴，申请号为：cn202022644251.7的专利，该主轴的转轴轴肩位于转轴轴体上接近自身左端的位置，其两侧分别通过两个轴向轴承支撑，而转轴轴体上位于轴肩右侧的部分均通过径向轴承进行支撑，而为了保障转轴轴体的径向刚度，则需要较长的径向轴承，从而造成主轴整体长度较长，在使用过程中过度占用作业空间。而一旦缩短径向轴承的长度，则会导致径向刚性得不到保障，使得转轴轴体不能满足高速转动需求。
技术实现思路
1、本技术旨在提供一种8万转/min的超声波气静压电主轴来提高转
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1.一种8万转/min的超声波气静压电主轴，包括外壳(1)和位于外壳(1)内经电机驱动的转轴(2)，转轴(2)具有轴肩(15)，外壳(1)内紧邻轴肩(15)的两侧均设有用于给转轴(2)提供轴向刚性的轴向轴承(19)，其特征是：所述轴肩(15)位于转轴(2)的中部，外壳(1)内位于轴肩(15)的左侧分别设有用于支撑转轴(2)的前径向轴承，外壳(1)内位于轴肩(15)的右侧设有用于支撑转轴(2)的后径向轴承(16)，前径向轴承和后径向轴承(16)均用于提供转轴(2)的径向刚度。
2.根据权利要求1所述的8万转/min的超声波气静压电主轴，其特征是：所述电机包括...
【技术特征摘要】
1.一种8万转/min的超声波气静压电主轴，包括外壳(1)和位于外壳(1)内经电机驱动的转轴(2)，转轴(2)具有轴肩(15)，外壳(1)内紧邻轴肩(15)的两侧均设有用于给转轴(2)提供轴向刚性的轴向轴承(19)，其特征是：所述轴肩(15)位于转轴(2)的中部，外壳(1)内位于轴肩(15)的左侧分别设有用于支撑转轴(2)的前径向轴承，外壳(1)内位于轴肩(15)的右侧设有用于支撑转轴(2)的后径向轴承(16)，前径向轴承和后径向轴承(16)均用于提供转轴(2)的径向刚度。
2.根据权利要求1所述的8万转/min的超声波气静压电主轴，其特征是：所述电机包括与转轴(2)配合使用的电机转子(11)和用于驱动电机转子(11)带动转轴(2)进行转动的电机定子(12)，所述电机的电机进线(14)贯穿外壳(1)的尾部与外部电源电性连接。
3.根据权利要求1所述的8万转/min的超声波气静压电主轴，其特征是：所述外壳(1)内设有用于对电机进行降温的冷却水套(13)，所述外壳(1)尾部的端面上对称设有冷却进水(9)和冷却出水(10)，冷却水通过冷却进水(9)进入到冷却水套(13)内后循环至冷却出水(10)处流出。
4.根据权利要求1所述的8万转/min的超声波气静压电主轴，其特征是：所述前径向轴承包括间隔分布的第一前径向轴承(3)和第二前径向轴承(18)，所述外壳(1)内部设有相互连通的气路，所述外壳(1)的尾部设有用于给气路供气的进气口(4)，所述第一前径向轴承(3)上设有贯穿孔，所述气路通过第一前径向轴承进气(8)与第一前径向轴承(3)上的贯穿孔相连通，进气口(4)内的气体穿过所述贯穿孔在转轴(2)外部形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：王强志，魏传波，
申请(专利权)人：洛阳传顺机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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