【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉设备，尤其涉及一种单晶炉液体加料装置。
技术介绍
1、单晶硅是半导体工业中最重要且应用最广泛的基础材料。单晶炉是生长大尺寸高品质单晶硅的重要装置。单晶硅在生长过程中由于晶体不断提拉，单晶炉内硅原料不断减少，新炉次单晶硅生长时需要通过加料装置对硅原料进行补充添加。现如今大多数单晶炉在进行装料时容易对单晶炉内部石英坩埚造成冲击,为此我们设计一种单晶炉液体加料装置，用于对上述技术问题提供另一种技术方案。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供一种单晶炉液体加料装置，用于解决有大多数的单晶炉在进行进料时容易对单晶炉内部进行冲击的技术问题。
2、为了解决上述的技术问题，本技术采用了如下技术方案：
3、一种单晶炉液体加料装置，包括固定套，所述固定套的内部滑动连接有坩埚，所述固定套的内部且位于坩埚的底部滑动连接有支撑座，所述支撑座的底部螺栓连接有固定杆，且所述固定杆与底座滑动连接，所述固定套顶端的内部均布固定有输送管，所述输送管的顶部与闭合盖滑动连接，所述输送管的底部且位于坩埚的内部固定有弹性挡片。
4、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述固定套的顶部螺栓连接有闭合盖，所述固定套的底部螺栓连接有底座。
5、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述底座的内部固定有高度支撑台。
6、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述弹性挡
7、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述弹性挡片由底部挡板和多个弧形挡片组成，多个所述弧形挡片之间的底部固定有底部挡板。
8、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述坩埚的内部固定有液位传感器，且所述液位传感器位于坩埚内部高度五分之四的位置。
9、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述固定套的一端安装有用于输送原料的送料机构，所述送料机构包括原料存储筒、输液管、单向阀、输气管和增压泵，所述原料存储筒顶部一端的内部设置有输液管，且所述输液管的底部与原料存储筒接触，所述输液管的一端固定有单向阀，所述单向阀的一端与输送管连接，所述原料存储筒顶部另一端的内部设置有输气管，所述输气管远离输液管的一端连接有增压泵。
10、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，所述输气管靠近输液管一端的底部位置高于输液管靠近输气管一端的底部位置。
11、作为本技术提供的所述的一种单晶炉液体加料装置的一种优选实施方式，还包括用于调节输液管高度的升降机构，所述升降机构包括固定壳、升降台、压板和升降块，所述固定壳顶端的内部滑动连接有升降块，所述升降块的顶部固定有升降台，所述升降台的顶部螺栓连接有压板；
12、所述固定壳的内部安装有用于带动升降块升降的高度调节组件，所述高度调节组件包括转动杆、连接杆、滑块、升降驱动旋转电机、升降蜗杆和升降蜗轮，所述固定壳底端的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外侧固定有连接杆，所述连接杆的一端转动连接有滑块，且所述滑块与升降块滑动连接，所述固定壳的内部固定有升降驱动旋转电机，所述升降驱动旋转电机的输出端连接有升降蜗杆，所述升降蜗杆的顶部啮合连接有升降蜗轮，所述升降蜗轮的内部与转动杆固定。
13、可以毫无疑义地看出，通过本申请的上述的技术方案，必然可以解决本申请要解决的技术问题。
14、同时，通过以上技术方案，本技术至少具备以下有益效果：
15、本技术提供的一种单晶炉液体加料装置，通过固定套、输送管、弹性挡片和送料机构的配合，能够让单晶炉在进行使用时，通过送料机构将原料通过输送管输送进入坩埚的内部，同时通过在输送管底部固定的弹性挡片放置原料进入坩埚时产生冲击，减少液体在坩埚内部的运动；
16、通过固定壳、升降台、压板和高度调节组件的配合，能够通过高度调节机构对升降台的高度进行调节来对升降台顶部固定的输液管高度进行调节，从而能够调节输液管一端在原料存储筒内部的高度。
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1.一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，包括固定套(1)，所述固定套(1)的内部滑动连接有坩埚(3)，所述固定套(1)的内部且位于坩埚(3)的底部滑动连接有支撑座(4)，所述支撑座(4)的底部螺栓连接有固定杆(7)，且所述固定杆(7)与底座(5)滑动连接，所述固定套(1)顶端的内部均布固定有输送管(8)，所述输送管(8)的顶部与闭合盖(2)滑动连接，所述输送管(8)的底部且位于坩埚(3)的内部固定有弹性挡片(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述固定套(1)的顶部螺栓连接有闭合盖(2)，所述固定套(1)的底部螺栓连接有底座(5)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述底座(5)的内部固定有高度支撑台(6)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述弹性挡片(9)的形状为鸟笼形。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述弹性挡片(9)由底部挡板和多个弧形挡片组成，多个所述弧形挡片之间的底部固定有底部挡板。
6.根据
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述固定套(1)的一端安装有用于输送原料的送料机构，所述送料机构包括原料存储筒(10)、输液管(11)、单向阀(12)、输气管(13)和增压泵(14)，所述原料存储筒(10)顶部一端的内部设置有输液管(11)，且所述输液管(11)的底部与原料存储筒(10)接触，所述输液管(11)的一端固定有单向阀(12)，所述单向阀(12)的一端与输送管(8)连接，所述原料存储筒(10)顶部另一端的内部设置有输气管(13)，所述输气管(13)远离输液管(11)的一端连接有增压泵(14)。
8.根据权利要求7所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述输气管(13)靠近输液管(11)一端的底部位置高于输液管(11)靠近输气管(13)一端的底部位置。
9.根据权利要求7所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，还包括用于调节输液管(11)高度的升降机构，所述升降机构包括固定壳(15)、升降台(16)、压板(17)和升降块(18)，所述固定壳(15)顶端的内部滑动连接有升降块(18)，所述升降块(18)的顶部固定有升降台(16)，所述升降台(16)的顶部螺栓连接有压板(17)；
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，包括固定套(1)，所述固定套(1)的内部滑动连接有坩埚(3)，所述固定套(1)的内部且位于坩埚(3)的底部滑动连接有支撑座(4)，所述支撑座(4)的底部螺栓连接有固定杆(7)，且所述固定杆(7)与底座(5)滑动连接，所述固定套(1)顶端的内部均布固定有输送管(8)，所述输送管(8)的顶部与闭合盖(2)滑动连接，所述输送管(8)的底部且位于坩埚(3)的内部固定有弹性挡片(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述固定套(1)的顶部螺栓连接有闭合盖(2)，所述固定套(1)的底部螺栓连接有底座(5)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述底座(5)的内部固定有高度支撑台(6)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述弹性挡片(9)的形状为鸟笼形。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述弹性挡片(9)由底部挡板和多个弧形挡片组成，多个所述弧形挡片之间的底部固定有底部挡板。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉液体加料装置，其特征在于，所述坩埚(3)的内部固定有液位传感器，且所述液位传感器位于...
【专利技术属性】
技术研发人员：冉红波，丁俊岭，张宇，石超，傅天赐，
申请(专利权)人：华东交通大学，
类型：新型
国别省市：
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