【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于研磨机，尤其是涉及一种研磨机流砂管连接方法。
技术介绍
1、如图1和图2所示，研磨机加工时，砂浆桶1内的砂浆通过循环泵途径流量计2控制流量进入上方的流砂壶3内，流砂壶3内的砂浆进入上盘流砂槽4，上盘流砂槽4的底部沿周向设有多个流砂孔5，与上磨盘6上方的流砂孔采用流砂管8连接。在现有技术中，上盘流砂槽4与上磨盘6之间的流砂管任意连接，导致在研磨过程中砂浆分布不均匀，硅片发生暗裂、蹭伤不良，影响硅片的ttv参数。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种研磨机流砂管连接方法，有效解决了研磨过程中砂浆分布不均匀的技术问题，克服了现有技术的不足。
2、本专利技术采用的技术方案是：一种研磨机流砂管连接方法，流砂管呈倾斜式连接，一端与上盘流砂槽连接，另外一端与上磨盘连接，所述流砂管与所述上盘流砂槽的连接端朝向所述上盘流砂槽的旋转方向倾斜。
3、进一步，所述流砂管的倾斜角设置为50～70°。
4、进一步，包括以下步骤：
5、将所述上磨盘的流砂孔分成多组流砂孔；
6、将所述流砂管分成多组流砂管；
7、按照所述多组流砂孔的分组，依次连接所述多组流砂管，使所述流砂管呈所述倾斜式连接。
8、进一步，在所述步骤将所述上磨盘的流砂孔分成多组流砂孔中，按照所述上磨盘的流砂孔的径向排布分成所述多组流砂孔。
9、进一步，在所述步骤将所述流砂管分成多组流砂管中，按照所述流砂管的长度分成所述多
10、进一步，在所述步骤按照所述多组流砂孔的分组，依次连接所述多组流砂管中，包括：
11、按照所述多组流砂孔的分组，依次连接每组所述流砂管；
12、沿所述上磨盘的径向，依次连接所述多组流砂管。
13、进一步，按照顺时针方向依次连接每组所述流砂管。
14、进一步，按照逆时针方向依次连接每组所述流砂管。
15、进一步，沿所述上磨盘的径向，由外到内依次连接所述多组流砂管。
16、进一步，沿所述上磨盘的径向，由内到外依次连接所述多组流砂管。
17、本专利技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，解决了流砂管连接不合理导致研磨过程中砂浆在盘内分布不均的问题，减少了硅片的暗裂以及表面蹭伤，改善了硅片研磨的ttv参数，提升了硅片的研磨效果，保证了产品的质量。
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1.一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：流砂管呈倾斜式连接，一端与上盘流砂槽连接，另外一端与上磨盘连接，所述流砂管与所述上盘流砂槽的连接端朝向所述上盘流砂槽的旋转方向倾斜。
2.根据权利要求1所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：所述流砂管的倾斜角设置为50～70°。
3.根据权利要求1或2所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：在将所述上磨盘的流砂孔分成多组流砂孔的步骤中，按照所述上磨盘的流砂孔的径向排布分成所述多组流砂孔。
5.根据权利要求4所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：在所述步骤将所述流砂管分成多组流砂管中，按照所述流砂管的长度分成所述多组流砂管。
6.根据权利要求5所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：在按照所述多组流砂孔的分组的步骤中，依次连接所述多组流砂管中，包括：
7.根据权利要求6所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：按照顺时针方向依次连接每组所述流砂管。
8.根据权
9.根据权利要求6-8任一所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：沿所述上磨盘的径向，由外到内依次连接所述多组流砂管。
10.根据权利要求6-8任一所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：沿所述上磨盘的径向，由内到外依次连接所述多组流砂管。
...【技术特征摘要】
1.一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：流砂管呈倾斜式连接，一端与上盘流砂槽连接，另外一端与上磨盘连接，所述流砂管与所述上盘流砂槽的连接端朝向所述上盘流砂槽的旋转方向倾斜。
2.根据权利要求1所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：所述流砂管的倾斜角设置为50～70°。
3.根据权利要求1或2所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：在将所述上磨盘的流砂孔分成多组流砂孔的步骤中，按照所述上磨盘的流砂孔的径向排布分成所述多组流砂孔。
5.根据权利要求4所述的一种研磨机流砂管连接方法，其特征在于：在所述步骤将所述流砂管分成多组流砂管中，按照所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彬，黄春峰，姚科新，曹锦伟，
申请(专利权)人：中环领先半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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