【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测，具体涉及一种用于光学检测系统的光路切换装置。
技术介绍
1、在光学检测系统中，经常需要对检测对象进行多种不同类型或不同目的的检测。例如在半导体生产工艺中，为了保证半导体器件的质量，需要对例如膜层厚度、关键尺寸(cd,critical dimension)、表面缺陷、对准误差等内容进行检测。也可能会采用不同类型的检测单元，例如宽光谱椭偏仪(se,spectroscopic ellipsometer)、反射光谱仪(sr,spectroreflectometer)等。有时候还需要对检测对象进行成像。
2、在此情况下，如果能够采用同一光源为多条不同用途的光路提供光束会是更加经济的选择。然而现有技术的检测系统存在成本高、光源利用率低的问题。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是现有检测系统不能便利地进行光路切换和提高利用率的问题，需要更加经济的光路切换装置。
2、根据第一方面，一种实施例中提供一种用于光学检测系统的光路切换装置，包括：>
3、第一离轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于光学检测系统的光路切换装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
3.如权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，
5.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述光源为宽波长光源，所述装置还包括：
6.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
7.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜采用离轴抛物面反射镜。
8.如权...
【技术特征摘要】
1.一种用于光学检测系统的光路切换装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
3.如权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，
5.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述光源为宽波长光源，所述装置还包括：
6.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
7.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜采用离轴抛物面反射镜。
8.如权利要求1所述的光...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，何泊衢，王南朔，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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