【技术实现步骤摘要】
本申请涉及叠层衍射成像领域，特别是涉及一种基于离轴衍射的反射式叠层成像方法及相关装置。
技术介绍
1、叠层衍射成像是近些年来兴起的计算成像技术，具有无透镜，光路简单，分辨率强，无需高质量光学元件等优点，已经被广泛应用于x射线衍射等领域。在工业领域的检测上，基于工业检测样品的性质，工业样品表面检测等一般需要使用反射式系统。在工业检测中，大部分待测样品是不透光的厚样品，进行表面检测时需要反射式的光路，而反射式的光路涉及到倾斜，光束会变形，可能要涉及到复杂的插值运算，以此来适应傅里叶变换。由于现有反射式系统的复杂性，建立一个较为准确、简易且不涉及复杂插值计算的物理模型描述在较大反射角度反射时的衍射过程很有必要。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种基于离轴衍射的反射式叠层成像方法及相关装置，首次使用离轴衍射的方法描述平行平面间的反射式衍射过程，模型较为简易，不涉及复杂的插值计算。
2、为实现上述目的，本申请提供了如下方案：
3、第一方面，本申请提供了一种基于离轴衍射的...
【技术保护点】
1.一种基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，所述基于离轴衍射的反射式叠层成像方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，所述平行平面离轴衍射传输模型的表达式为：
3.根据权利要求1所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，根据所述衍射图像，应用改进的rPIE迭代算法进行衍射光场重构，得出样品重建的振幅和相位，具体包括：
4.根据权利要求3所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，在执行步骤“以当前所述重建样品复振幅分布图作为当前样品复振幅分布图，以当前所述重建探针复...
【技术特征摘要】
1.一种基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，所述基于离轴衍射的反射式叠层成像方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，所述平行平面离轴衍射传输模型的表达式为：
3.根据权利要求1所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，根据所述衍射图像，应用改进的rpie迭代算法进行衍射光场重构，得出样品重建的振幅和相位，具体包括：
4.根据权利要求3所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，在执行步骤“以当前所述重建样品复振幅分布图作为当前样品复振幅分布图，以当前所述重建探针复振幅分布图作为当前探针复振幅分布图”之前，所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法包括：
5.根据权利要求4所述的基于离轴衍射的反射式叠层成像方法，其特征在于，对当前所述重建样品复振幅分布图和当前所述重建探针复振幅分布图分别应用tv去噪算法进行去噪，具体包括：
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：史祎诗，黄磊，陈彦淇，王庆鑫，
申请(专利权)人：中国科学院大学，
类型：发明
国别省市：
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