传感器制造技术

设置为更薄且柔软，以更高的灵敏度检测力、压力或振动。传感器包括：第一膜以及第二膜，当被施加力、压力或振动时产生电压；膜状的多个第一电极，在所述第一膜的一个面彼此隔开预定间隔地设置；膜状的第二电极，在所述第二膜的一个面设置；以及介电部件，由具有介电性的橡胶成型为形成有孔的薄板状，在作为预定面的第一面粘贴第一膜的另一个面，在与第一面相对的第二面粘贴第二膜的另一个面，其中，在形成于介电部件的孔中放入辅助电荷的蓄积的蓄电剂，在第二电极和任意个或全部第一电极之间产生与被部分或整体施加的力、压力或振动相应的电压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及传感器，特别是涉及将施加的力、压力或振动转换为电压的传感器。

技术介绍

1、触觉反馈和力反馈对于外科系统和遥操作任务是重要的。为了触觉反馈和力反馈，需要检测施加的力、压力或振动。

2、另外，染谷等致力于实现通过粘贴于人的组织、体表而能够不与生物体的运动干扰地测量生物体信息的系统。通过在厚度为1微米左右的极薄的高分子膜上形成有机器件，尽管是超薄型，但令人惊讶的是成功实现了结实的柔性有机器件。所制作的世界最轻且最薄的柔软的有机晶体管集成电路，即使将膜折弯而碾压至曲率半径5微米，也维持电气性能，机械结构也不会损坏。染谷等使用该有机晶体管集成电路，成功试制了柔软的触摸传感器系统。

3、进而，在斯坦福大学中也研究了同样的传感器（例如，参照非专利文献1）。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、非专利文献1：weichenwang,..zhenanbao,strain-insensitiveintrinsicallystretchabletransistorsandcircuits,naturee本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种传感器，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器，其中，

3.根据权利要求1所述的传感器，其中，

4.根据权利要求1所述的传感器，其中，

5.根据权利要求1所述的传感器，其中，

6.根据权利要求5所述的传感器，其中，

7.根据权利要求6所述的传感器，其中，

8.根据权利要求1所述的传感器，其中，

9.根据权利要求1所述的传感器，其中，

10.根据权利要求1所述的传感器，其中，

11.根据权利要求1所述的传感器，其中，

12.根据权利要求11所述的传感器...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种传感器，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器，其中，

3.根据权利要求1所述的传感器，其中，

4.根据权利要求1所述的传感器，其中，

5.根据权利要求1所述的传感器，其中，

6.根据权利要求5所述的传感器，其中，

7.根据权利要求6所述的传感器，其中，

8.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾根顺治，林立伟，佐藤龙弥，柳川信明，
申请(专利权)人：曾根顺治，
类型：发明
国别省市：