【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体上涉及用于改善信噪比(snr)和/或其频率响应的声换能器设备和技术。
技术介绍
1、麦克风能够使用电声换能器(例如，声换能器)来将声学振动转换成电信号。麦克风广泛地用于各种电子设备，包括但不限于智能手机、智能手表、平板计算机、膝上型计算机、台式计算机、物联网设备等。市场力可能需要用小形状因子制造声换能器并生成高质量音频信号。
2、声换能器能够用各种机制来实现，以生成电信号，诸如依赖于电容信号生成、光信号生成或其它方式。在本文中将特别强调用光学传感器生成电信号的声换能器；然而，本说明书中的任何内容都不旨在排除用于信号生成的任何其它方法。声换能器能够包括膜，该膜被配置为响应于声压的变化(例如，响应于声波)而弯曲或呈现位移。膜能够可选地包括反射表面(例如，镜像表面或反射镜)，并且声换能器能够包括被配置为将光引导到膜上(和/或可选地引导到反射表面上)并且检测反射光中的变化以生成对应的电信号的光源。声换能器能够可选地被配置为微机电系统(mems)麦克风。
3、如本文所公开的声换能器通常能够理解为包括前体积和后体积...
【技术保护点】
1.一种声换能器设备，所述声换能器设备包括：
2.根据权利要求1所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)是沟槽，并且所述沟槽在所述基板(102)中。
3.根据权利要求2所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)是沟槽，并且所述沟槽在所述基板(102)中，在所述支撑结构(106)下方。
4.根据权利要求1所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)在所述支撑结构(106)中。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)至少为50μm高。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种声换能器设备，所述声换能器设备包括：
2.根据权利要求1所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)是沟槽，并且所述沟槽在所述基板(102)中。
3.根据权利要求2所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)是沟槽，并且所述沟槽在所述基板(102)中，在所述支撑结构(106)下方。
4.根据权利要求1所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)在所述支撑结构(106)中。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的声换能器设备，其中，所述沟道(118)至少为50μm高。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的声换能器设备，其中，所述帽(104)包括开口，所述开口被配置为允许声波从所述声室外部传递进入所述前体积(112)中；并且其中，所述膜(108)被配置为响应于所述前体积(112)中的所述声波而位移。
7.根据权利要求6所述的声换能器设备，其中，所述主后体积(114)包括换能器，所述换能器被配置为基于所述膜(108)的所述位移来生成电信号。
8.根据权利要求7所述的声换能器设备，其中，所述换能器包括光学传感器。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的声换能器设备，其中，所述膜(108)包括面向所述帽的第一侧和面向所述基板(102)的第二侧。
10.根据权利要求9所述的声换能器设备，其中，所述声换能器设备进一步包括位于所述膜(108)的所述第二侧上的反射镜(128)。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的声换能器设备，其中，所述换能器包括激光器，并且其中，所述激光器具有到所述反射镜(128)的视线连接。
12.根据权利要求8至11中任一项所述的声换能器设备，其中，所述反射镜(128)的直径在10μm和120μm之间。
13.根据权利要求12所述的声换能器设备，其中，所述膜(108)具有500μm到1500μm的直径。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的声换能器设备，其中，所述声室进一步包括第三级后体积，所述第三级后体积不同于所述前体积(112)、...
【专利技术属性】
技术研发人员：延斯·霍弗里希特，戈兰·斯托扬诺维奇，罗伊·达菲，
申请(专利权)人：艾迈斯欧司朗股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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