一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统技术方案

本技术公开了一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统，包括炉体、炉膛、以及炉内气氛控制系统；该炉内气氛控制系统包括穿过炉体顶部侧壁的气体混合管路，置于炉体外部、并与气体混合管路相连通的氮气管路、氢气管路和空气管路，与气体混合管路相并联的增湿管路，以及若干个与气体混合管路相连通、并从炉膛顶部纵向插入其内部腔体的进气管路；在进气管路的内侧管壁上设置有若干个自上而下均匀排布的进气孔，在炉体的内侧壁上设置有一个压力传感器，在氮气管路、氢气管路和空气管路上各设置有一个MFC气体流量控制器；可防止破真空时将炉内底部杂质扬起污染产品，同时实现各阶段真空度下气体流量的精确控制，即不吹飞待烧结产品，又减少气体置换时间。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电子元器件生产设备领域，尤其是涉及一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统。

技术介绍

1、贱金属内电极mlcc产品在烧结过程需要使用到气氛钟罩炉。气氛钟罩炉在运行的初始阶段，需要对炉内气体进行置换以达到炉内气氛的稳定可控，其中常用的一种方法是对炉内进行抽真空-破真空以完成气氛置换。当前设计是在炉床底部对炉砖进行开口作为抽真空-破真空的气体通道。然而随着设备的使用，疏松结构的炉砖容易产生纤维粉末掉落至该气体通道附近，同时烧结炉碳钢外壳的内壁生锈产生的铁锈也会掉落堆积在气体通道。以上两种杂质在破真空时会被扬起吹落至产品表面，在高温烧结过程中与产品反应造成致命的不良。

2、若简单的将气体破真空管路放在正常运行时的进气口处，由于进气口直吹产品，在破真空的初期，真空度较高时气体流速大，易将产品吹飞。若简单的调小气体流量，则破真空时间将增加。

技术实现思路

1、本技术目的是：提供一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统，可防止破真空时将炉内底部杂质扬起污染产品，同时通过压力传感器识别炉内真空度，并结合氮气管路、氢本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统，包括炉体，设置于所述炉体内部的炉膛，以及穿过所述炉体顶部侧壁、并与所述炉膛内部相连通的炉内气氛控制系统；其特征在于，所述炉内气氛控制系统包括穿过所述炉体顶部侧壁的气体混合管路，置于所述炉体外部、并与所述气体混合管路相连通的氮气管路、氢气管路和空气管路，与所述气体混合管路相并联的增湿管路，以及若干个与所述气体混合管路相连通、并从所述炉膛顶部纵向插入其内部腔体的进气管路；在所述进气管路的内侧管壁上设置有若干个自上而下均匀排布的进气孔，在所述炉体的内侧壁上设置有一个压力传感器，同时在所述氮气管路、所述氢气管路和所述空气管路上各设置有一个MFC气体流量控制器...

【技术特征摘要】

1.一种用于气氛钟罩炉的气体置换系统，包括炉体，设置于所述炉体内部的炉膛，以及穿过所述炉体顶部侧壁、并与所述炉膛内部相连通的炉内气氛控制系统；其特征在于，所述炉内气氛控制系统包括穿过所述炉体顶部侧壁的气体混合管路，置于所述炉体外部、并与所述气体混合管路相连通的氮气管路、氢气管路和空气管路，与所述气体混合管路相并联的增湿管路，以及若干个与所述气体混合管路相连通、并从所述炉膛顶部纵向插入其内部腔体的进气管路；在所述进气管路的内侧管壁上设置有若干个自上而下均匀排布的进气孔，在所述炉体的内侧壁上设置有一个压力传感器，同时在所述氮气管路、所述氢气管路和所述空气管路上各设置有一个mfc气体流量控制器。

2.根据权利要求1所述的用于气氛钟罩炉的气体置换系统，其特征在于，在所述气体混合管路上设置有相互串联的第一控制阀和第二控制阀，在所述增湿管路上设置有相互串联的第三控制阀和增湿水箱，同时所述第三控制阀和所述增湿水箱与所述第一控制阀相并联。

3.根据权利要求1所述的用...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟世铭，
申请(专利权)人：元六鸿远苏州电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：