【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及弹性波装置。
技术介绍
1、在专利文献1中记载了弹性波装置。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、在专利文献1所示的弹性波装置中，以得到所希望的频率特性为目的，有时在功能电极层叠保护膜。在该情况下，由于保护膜的吸湿、因弹性波装置的制造工序中的等离子体的暴露引起的保护膜的变质，频率特性可能变动。
3、本公开用于解决上述的课题，其目的在于，抑制频率特性的变动。
4、用于解决课题的手段
5、一方式所涉及的弹性波装置具备：压电层，其具有在第一方向上对置的第一主面及第二主面；至少一对电极，其设置在所述第一主面及所述第二主面的至少任意一者；以及保护膜，其覆盖所述一对电极的至少一部分，所述保护膜包括与所述一对电极相接的第一成分的绝缘膜和表层的第二成分的绝缘膜，所述第一成分的绝缘膜与所述第二成分的绝缘膜相比耐湿性高，所述...
【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
9.一种弹性波装置，具备：
10.一种弹性波装置，具备：
11.一种弹性波装置，具备：
12.一种弹性波装
<...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
9.一种弹性波装置，具备：
10.一种弹性波装置，具备：
11.一种弹性波装置，具备：
12.一种弹性波装置，具备：
13.一种弹性波装置，具备：
14.一种弹性波装置，具备：
15.一种弹性波装置，具备：
16.根据权利要求1至15中任一项所述的弹性波装置，其中，
【专利技术属性】
技术研发人员：山路彻，山崎直，铃木博也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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