【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷材料,具体而言涉及一种重结晶碳化硅制品及其制备方法。
技术介绍
1、高温烧结坩埚、炉管所处的工作环境较为恶劣,为了保证稳定、可靠地工作,一般采用具有卓越的耐高温、抗热震性、高密度、高强度,以及化学稳定性的碳化硅陶瓷作为制备材料。碳化硅陶瓷的制造工艺中通常采用常压烧结法、反应烧结法、热压烧结法、浸渍法和重结晶法等烧成方法,为了满足高温烧结坩埚、炉管的要求,在制备时一般采用反应烧结,液相烧结等方法以获得具有较高的致密性、抗热冲击性能和纯净度的碳化硅。
2、重结晶碳化硅(r-sic)具有很高的纯度和耐热冲击性,具有较广的使用温度和极端使用环境,能够满足高温烧结坩埚、炉管的使用环境,但是r-sic烧结通常无法达到足够高的致密度。重结晶是在高于2100℃的温度及一定压力的气氛保护下,小颗粒发生蒸发—凝聚再结晶作用,在大颗粒接触处发生颗粒共生形成的烧结体,小颗粒蒸发会造成一定数量孔隙,因此这种烧结方法会导致碳化硅陶瓷具有较高的气孔率,即使通过控制原料粉的颗粒级配,其密度也很难高于2.6g/cm3,不能满足碳化硅坩埚高密
...【技术保护点】
1.一种重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,第一碳化硅粉和第二碳化硅粉的平均粒径关系为:D2<0.8D1。
3.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,所述第一碳化硅粉的平均粒径D1为15μm~95μm。
4.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,所述第一碳化硅粉和第二碳化硅粉的质量比为(1~10):1。
5.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,将步骤S1得到的坯体进行梯度
...【技术特征摘要】
1.一种重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,第一碳化硅粉和第二碳化硅粉的平均粒径关系为:d2<0.8d1。
3.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,所述第一碳化硅粉的平均粒径d1为15μm~95μm。
4.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,所述第一碳化硅粉和第二碳化硅粉的质量比为(1~10):1。
5.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,将步骤s1得到的坯体进行梯度升温固化的过程如下:
6.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,根据步骤s2得到的基体的体积v1和气孔率b1确定第三碳化硅粉和第四碳化硅粉的粉体总体积,以及根据基体的气孔尺寸a1确定第三碳化硅粉的平均粒径d3的原则如下:
7.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,第三碳化硅粉和第四碳化硅粉的平均粒径关系为:d4<0.8d3。
8.根据权利要求1所述的重结晶碳化硅制品的制备方法,其特征在于,所述第三碳化硅粉...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟强,王绍隆,吴良辉,左开慧,
申请(专利权)人:兰德森材料科技盐城有限公司,
类型:发明
国别省市:
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