位移执行器件的偏角检测系统、方法以及偏角补偿方法技术方案

一种位移执行器件的偏角检测系统、方法以及偏角补偿方法，偏角检测系统包括：参考组件，设于位移执行器件的运动部上，用于跟随运动部从第一位置运动至第二位置；参考组件具有至少一个参考面，参考面与位移执行器件的理论运动轴向之间具有预设角度；测量装置，用于测量参考面位于第一位置、第二位置时分别相距测量点的检测距离；处理器，用于根据检测距离，以及第一位置与第二位置之间的运动间距计算位移执行器件的实际运动轴向与参考面的实际角度，基于实际角度和预设角度，得到相对于参考面的条件下，实际运动轴向相对理论运动轴向的偏差角度。本申请可以计算得到位移执行器件对应参考面的偏差角度，为后续调整以及标定提供的测定参数。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及位移执行器件检测，具体涉及一种位移执行器件的偏角检测系统、方法以及偏角补偿方法。

技术介绍

1、在位移执行器件(如驱动器、推杆)领域中，位移执行器件的运动部(如伸缩杆、轴)的运动轴向，由于加工精度，实际的运动轴向与理论的运动轴向之间存在角度偏差。

2、在检测领域中，需要采用位移执行器件驱动待测件或者图像探测器运动，需要根据位移执行器件的输出量来计算待测件或者图像探测器的实时位置，当存在上述角度偏差时，位置的计算就存在误差。为了提高对位置计算的精度，需要确定位移执行器件的轴向角度偏差，便于后续对位移参数进行补偿。

3、因此，如何检测位移执行器件的轴向角度偏差是需要解决的问题，

技术实现思路

1、本专利技术主要解决的技术问题是现有位移执行器件实际的运动轴向与理论的运动轴向之间存在角度偏差，需要进行检测。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种位移执行器件的偏角检测系统，包括：

3、参考组件，设于位移执行器件的运动部上，用于跟随运动部从第一位置运动至第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种位移执行器件的偏角检测系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的偏角检测系统，所述参考组件具有的一个所述参考面被配置为第一反射面，所述第一反射面与所述位移执行器件的理论运动轴向具有第一预设角度；

3.如权利要求2所述的偏角检测系统，其特征在于，所述参考组件还具有另一个参考面且被配置为第二反射面，第一反射面和第二反射面之间具有预设的组件角度关系；所述第二反射面与所述理论运动轴向具有第二预设角度；

4.如权利要求3所述的偏角检测系统，其特征在于，所述第一反射面、所述第二反射面相互垂直且均平行于所述位移执行器件的理论运动轴向。

5....

【技术特征摘要】

1.一种位移执行器件的偏角检测系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的偏角检测系统，所述参考组件具有的一个所述参考面被配置为第一反射面，所述第一反射面与所述位移执行器件的理论运动轴向具有第一预设角度；

3.如权利要求2所述的偏角检测系统，其特征在于，所述参考组件还具有另一个参考面且被配置为第二反射面，第一反射面和第二反射面之间具有预设的组件角度关系；所述第二反射面与所述理论运动轴向具有第二预设角度；

4.如权利要求3所述的偏角检测系统，其特征在于，所述第一反射面、所述第二反射面相互垂直且均平行于所述位移执行器件的理论运动轴向。

5.如权利要求4所述的偏角检测系统，其特征在于，所述参考组件为角反射器，所述角反射器具有三个互相垂直的反射面，一个反射面作为基准面，其他两个反射面分别作为所述第一反射面和所述第二反射面，所述基准面垂直于所述位移执行器件的理论运动轴向。

6.如权利要求1所述的偏角检测系统，其特征在于，所述测量装置包括激光干涉仪或白光干涉仪，所述激光干涉仪或白光干涉仪用于向所述参考面发射检测光束并接收所述参考面产生的反射光束，以及通过分析所述反射光束得到所述参考面相距测量点的检测距离。

7.一种位移执行器件的偏角检测方法，其特征在于，包括：

8.如权利要求7所述的偏角检测方法，其特征在于，所述参考组件具有的一个所述参考面被配置为第一反射面，所述第一反射面与所述位移执行器件的理论运动轴向具有第一预设角度；测量装置用于配置在第一测量点，用于测量所述第一测量点与所述第一反射面之间的距离，所述第一测量点与所述第一反射面相对设置；

9.如权利要求8所述的偏角检测方法，其特征在于，所述根据所述检测距离、所述运动间距计算所述位移执行器件的实际运动轴向与所述参考面的实际角度，包括：

10.如权利要求9...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，姚本溪，蒋路翔，吕肃，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：