一种磁性随机存储材料用前驱体α-醛亚胺基Fe(II)化合物制造技术

本发明专利技术公开了一种磁性随机存储材料用前驱体α‑醛亚胺基Fe(II)化合物，属于功能材料和微电子材料技术领域。本发明专利技术所述的α‑醛亚胺基Fe(II)化合物的结构式如式Ⅰ；其有良好的挥发性和热稳定性，以及良好的成膜性能，可用作化学气相沉积(CVD)/原子层沉积(ALD)的前驱体，通过CVD/ALD工艺制备得到连续均匀、纯度高的的Fe基薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种磁性随机存储材料用前驱体α-醛亚胺基fe(ii)化合物，属于功能材料和微电子材料。

技术介绍

1、随着互联网、物联网以及大数据的发展，信息存储技术也在不断面临新的要求和挑战。信息存储技术发展的核心在于信息存储材料，全球各大国家和公司均对此投入了巨大研发力量。其中，磁性随机存储技术是利用一种具有大的磁阻效应的设备在一种稳定的磁性状态下存储数据，数据的读出通过测定设备的阻力实现，与其他随机存储技术相比具有高集成度、高速读取写入能力、重复可读写次数近乎无穷大、低功耗和高抗辐射能力以及最为突出的非易失性等明显优势。磁性随机存储技术的发展关键在于磁性随机存储材料的发展。

2、目前，磁性随机存储材料主要由适当的铁磁性材料以及它们的合金构成，其中主要包括以fe为基础的金属fe、cofe、nife、cofeb、feox等金属或金属合金薄膜材料。

3、磁性随机存储材料的传统制备方法主要包括磁控溅射、分子束外延、脉冲激光沉积等方法；然而，随着微电子器件特征尺寸的不断减小以及器件结构纵宽比不断加大，使得材料填充面临巨大的困难，传统沉积方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种α-醛亚胺基Fe(II)化合物，其特征在于，结构式如式Ⅰ：

2.根据权利要求1所述的α-醛亚胺基Fe(II)化合物，其特征在于，α-醛亚胺基Fe(II)化合物的结构式如下：

3.一种制备权利要求1或2所述的α-醛亚胺基Fe(II)化合物的方法，其特征在于，包括如下步骤：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(1)中α-醛亚胺类化合物为叔丁基α-醛亚胺、苯基α-醛亚胺、三甲基硅基α-醛亚胺中的一种或几种。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(3)中反应混合液中的α-醛亚胺或其衍生物与二氯化铁乙醚溶液中的二氯化铁的...

【技术特征摘要】

1.一种α-醛亚胺基fe(ii)化合物，其特征在于，结构式如式ⅰ：

2.根据权利要求1所述的α-醛亚胺基fe(ii)化合物，其特征在于，α-醛亚胺基fe(ii)化合物的结构式如下：

3.一种制备权利要求1或2所述的α-醛亚胺基fe(ii)化合物的方法，其特征在于，包括如下步骤：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(1)中α-醛亚胺类化合物为叔丁基α-醛亚胺、苯基α-醛亚胺、三甲基硅基α-醛亚胺中的一种或几种。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(3)中反应混合液中的α-醛亚胺或其衍生物与二氯化铁乙醚溶液中的二氯化铁的摩尔比为2:(0.9～1.1)。

6.一种磁性随机信息存储材料，其特征在于，其采用了权利要求1或2所述的α-醛亚胺基fe(ii)化合...

【专利技术属性】
技术研发人员：张羽翔，张艳鸽，徐静莉，孙国富，孙红，周峰晨，姚川，邢晋豪，叶绪胤，
申请(专利权)人：许昌学院，
类型：发明
国别省市：