基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法技术

本发明专利技术公开了一种基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，解决了在高精度运动控制中，因系统的非线性特性而导致的控制精度降低的技术问题。包括以下步骤：首先根据GL定义建立包含分数阶线性动态部分和静态非线性部分的超精密非线性平台系统模型。然后，对系统输入输出进行数据滤波处理，将复杂的有色噪声转化简单的滑动平均噪声来提高信噪比。接着，对交叉规则进行了改进，动态调整交叉概率，增强算法的全局搜索能力和收敛速度，提高了参数估计的精度和鲁棒性。本发明专利技术在处理分数阶非线性系统的参数估计问题上具有较高的精度和良好的抗干扰能力，适用于超精密平台复杂工业系统的建模和控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于控制科学与工程领域，涉及一种非线性系统的辨识和控制方法，尤其是应用于超精密运动平台的建模与控制。

技术介绍

1、近年来，高集成度的高性能芯片制造过程中，光刻技术就是其中的一个技术难点。整个光刻机大致可以分为：极短波长光刻光源、超精密工件台系统、超精密掩模台系统、超精密光学投影系统、冷却系统以及照明系统等。其中，超精密平台通过x向的定位运动与y向的扫描运动，配合光刻机其他分系统完成扫描曝光的工序。因此，这对平台的运动精度、稳定性和动态响应提出了极高的要求。然而，超精密平台的非线性特性，如摩擦力、耦合振动和热效应等，给系统辨识和控制带来了巨大挑战。

2、传统建模辨识方法将整个超精密平台被控对象视为一个整体的系统，使得其中线性环节与非线性环节作为一个整体进行辨识，很大程度上增加了模型的复杂度和系统辨识的误差，而本专利技术的“线性系统i——非线性系统——线性系统ii”非线性系统结构适用于大部分非线性系统的模型结构，将线性与非线性子系统相互分离开分别分析，有益于提高系统辨识的精度，以便对控制器输出进行有效的补偿，获得更佳的控制效果，因而对实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，所述步骤2)具体包括以下步骤；

3.根据权利要求1所述的基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，所述步骤1)包括如下步骤：

4.根据权利要求2所述的基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，权利要求2中步骤一)至步骤十)具体包括以下步骤：

【技术特征摘要】

1.基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于遗传优化和数据滤波的分数阶超精密平台辨识方法，其特征在于，所述步骤2)具体包括以下步骤；

3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗天成，孙天航，林可儿，顾菊平，陆国平，华亮，吴梅林，程天宇，
申请(专利权)人：南通大学，
类型：发明
国别省市：