【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冷却设备，尤其涉及一种化学液冷却系统。
技术介绍
1、半导体行业需要用到很多的化学溶液,大多属于强酸、强碱或强腐蚀性的溶液，部分化学溶液使用温度达到100℃-200℃。化学溶液使用后需经由厂务管道排出废液，高温化学品废液会对厂务系统造成损害，出于安全和生产的需求，往往采用冷却系统先进行废液的降温冷却后再排放至厂务系统。尤其是工艺处理单元大量排出高温废液时，需要冷却系统将高温废液快速降温至厂务允许排放温度，再排放至厂务系统。
2、现有技术中的一种化学液冷却系统方案如下：一种化学液冷却系统包括药液腔体、换热管路及支撑架。其中，药液腔体顶部设有化学液进口、冷却水进口、冷却水出口、底部设有排废口，连接排液管路。药液腔体内设有盘管形式的换热管路，换热管路内为冷却循环水，换热管路一端连接冷却水进口，另一端连接冷却水出口。该冷却系统工作时，化学液经进口进入腔体，冷却循环水与高温化学液进行热量转移，实现冷却。该冷却系统方案在使用时，高温的化学液经药液腔体上方入口进入冷却系统，直达腔体底部，随液位逐渐上涨，与冷却循环水的换热管路...
【技术保护点】
1.一种化学液冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述匀流板上开设有环形流道，所述环形流道与所述化学液进口连通。
3.根据权利要求2所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述环形流道为环形槽，所述环形槽底部对应所述换热管路均匀开有多个布液孔，所述布液孔用于将所述环形槽中的化学液导流到所述换热管路上。
4.根据权利要求3所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述布液孔设有导流部，所述导流部与所述布液孔连通；所述导流部沿所述布液孔的延伸方向，所述导流部的截面面积呈逐渐减小设置。
5.根据...
【技术特征摘要】
1.一种化学液冷却系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述匀流板上开设有环形流道，所述环形流道与所述化学液进口连通。
3.根据权利要求2所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述环形流道为环形槽，所述环形槽底部对应所述换热管路均匀开有多个布液孔，所述布液孔用于将所述环形槽中的化学液导流到所述换热管路上。
4.根据权利要求3所述的化学液冷却系统，其特征在于：所述布液孔设有导流部，所述导流部与所述布液孔连通；所述导流部沿所述布液孔的延伸方向，所述导流部的截面面积呈逐渐减小设置。
5.根据权利要求1所述的化学液冷却系统，其特征在于：还包括扰流器，所述扰流器安装于所述腔体内部，所述扰流器包括：
6.根据权利要求5所述的化学液冷...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雨荟，李泽，彭博，陈健奇，
申请(专利权)人：上海芯源微企业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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