一种绿色环保高效蓝宝石抛光液制造技术

本发明专利技术公开了一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，涉及抛光液技术领域，包括磨料、pH调节剂、表面活性剂和去离子水，磨料为胶体SiO<subgt;2</subgt;，pH调节剂为精氨酸溶液，表面活性剂为十二烷基硫酸铵，其余成分为去离子水；本发明专利技术抛光液绿色环保、成分中不含金属离子，有机碱精氨酸不仅能作为碱性pH调节剂，还可以发挥络合剂的作用，本发明专利技术设置的阴离子表面活性剂十二烷基硫酸铵不仅能够提升蓝宝石抛后的表面质量，还能够有效提升抛光液的稳定性，防止磨料团聚，使抛光液能够长时间保存，本发明专利技术设置的抛光液对C、A、R三种晶面的蓝宝石都有很好的CMP效果，材料去除速率和表面质量都得到了很大的提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光液，具体是一种绿色环保高效蓝宝石抛光液。

技术介绍

1、蓝宝石因具有出色的物理和化学特性，常作为一种重要的光学材料，在led、光学仪器、半导体器件等众多领域中得以广泛应用。然而，由于其硬度高、化学稳定性好，蓝宝石的加工一直都是一项技术难题。抛光作为蓝宝石加工过程中的一道重要工序，旨在实现蓝宝石表面平坦化。化学机械抛光(cmp)技术完美结合了机械抛光和化学抛光的优点，是目前超精密加工中实现全局平坦化最有效的技术之一。在影响蓝宝石cmp性能的众多因素中，抛光液的组分优化更容易提升蓝宝石cmp的性能，并且受其它因素影响较小，具有普适性。然而，现有的蓝宝石抛光液仍存在一些问题：抛光液中的化学成分复杂，成本较高；抛光液中含有的金属离子会对人和环境造成一定的伤害，不环保；抛光液的稳定性较差，磨料容易发生团聚，不易于长时间存放；抛光液大多只适用于单个晶面的蓝宝石，并不适用于多个晶面的蓝宝石，普适性较差且抛光效率不够高。因此，开发一种成分简单、绿色环保、稳定性好、高效的蓝宝石抛光液，对于提高蓝宝石的加工效率和产品质量具有重要意义。p>

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【技术保护点】

1.一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于：包括磨料、pH调节剂、表面活性剂和去离子水，所述磨料为胶体SiO2，所述pH调节剂为精氨酸溶液，所述表面活性剂为十二烷基硫酸铵，其余成分为去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于，所述磨料平均粒径范围为：80nm～100nm，浓度为20wt％。

3.根据权利要求1所述的一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于，所述pH调节剂调节抛光液pH值范围为：10.0-10.5。

4.根据权利要求1所述的一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于，所述十二烷基硫酸铵的浓度范围为0.01...

【技术特征摘要】

1.一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于：包括磨料、ph调节剂、表面活性剂和去离子水，所述磨料为胶体sio2，所述ph调节剂为精氨酸溶液，所述表面活性剂为十二烷基硫酸铵，其余成分为去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于，所述磨料平均粒径范围为：80nm～100nm，浓度为20wt％。

3.根据权利要求1所述的一种绿色环保高效蓝宝石抛光液，其特征在于，所述ph调节剂调节抛光液ph值范围为...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛新环，邹毅达，刘江皓，周佳凯，石芸慧，王如，檀柏梅，李世杰，
申请(专利权)人：河北工业大学，
类型：发明
国别省市：