一种单晶炉的喂料装置制造方法及图纸

本技术涉及单晶硅生产设备技术领域，提供一种单晶炉的喂料装置，包括：料仓，用于盛装硅料；输料管，设于料仓下方，用于输送硅料至单晶炉内的坩埚中；其中，料仓的下料口与输料管的进料口之间设有具有多个料格的输料导轮，输料导轮外接有带变频器的电机；通过电机的驱动，输料导轮可逆时针旋转以使得每个料格上承下料口、下接进料口。电机的输出转速通过变频器控制，以达到控制输料导轮旋转速度的目的，使得每个料格能够将定量的硅料送入输料管，从而精确控制和稳定统一加料速率，提高喂料的精准度和连续性，进而满足OCR及CCZ拉晶工艺的需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产设备，具体涉及一种单晶炉的喂料装置。

技术介绍

1、为了降低单晶硅的生产成本和提升晶棒品质，行业技术人员经过大量实验和数据验证，开发出ocr及ccz（continuous czocharlski，连续拉晶）两种拉晶工艺。

2、采用以上两种工艺拉制单晶硅棒时，通常在单晶炉外增加一个喂料机构，在保持拉晶的同时将固态硅料连续地加入单晶炉的坩埚中，从而保证连续拉晶的进行。

3、目前，根据应用场景的不同，不同厂家设计出各种不同的喂料机构，要么是单级振动，要么是两级振动。但是，振动送料波动大、难以控制，其下料速度不能统一，喂料精准度偏差比较大，很难满足ocr及ccz拉晶工艺的需求。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供一种单晶炉的喂料装置，以解决现有技术中振动送料波动大、难以控制，其下料速度不能统一，喂料精准度偏差比较大，很难满足ocr及ccz拉晶工艺的需求的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：

3、一种单晶炉的喂料装置，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉的喂料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述进料口下方对应的输料管外侧壁上安装有振动器。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述振动器为单级振动器。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，每个所述的料格内衬聚四氟乙烯板。

6.根据权利要求5所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述料格绕所述轮体的转轴圆周均匀分布有10个。

7.根据权利要求5或6所述的单晶...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉的喂料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述进料口下方对应的输料管外侧壁上安装有振动器。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于，所述振动器为单级振动器。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的单晶炉的喂料装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的单晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈浩，乃家旺，张军，马自成，王小龙，杜旭刚，刘华林，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：