变换装置及镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:43944383 阅读:14 留言:0更新日期:2025-01-07 21:34
本申请公开一种变换装置及镀膜设备,该变换装置,包括传送机构和变换机构,传送机构包括沿上下方向上相对设置的第一传送组件和第二传送组件。变换机构包括升降驱动单元和与升降驱动单元连接的升降件,升降件用于第一传送组件和第二传送组件上的载具进行调换位置。本申请的变换装置通过第一传送组件和第二传送组件分别位于镀膜机构的上方和下方,以实现镀膜机构同时对上下方向的片状材料进行镀膜。通过变换机构平移载具,使得每一片状材料的顶面和底面分别朝向镀膜机构,使得两个镀膜机构共同朝向片状材料进行双面镀膜,在无需翻转片状材料的前提下,将片状材料的两面分别朝向两个镀膜机构,从而实现快速地进行双面镀膜的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池制备领域,尤其涉及一种变换装置及镀膜设备


技术介绍

1、在太阳电池制备时,通常pvd(physical vapor deposition,物理气相沉积)工艺在片状材料上沉积铜种子层以制备电极。具体地,将片状材料放置在载具上,然后将具有片状材料的载具放置在工艺腔室内在对片状材料镀膜时,需要对片状材料进行双面镀膜,使用现有的镀膜设备在对片状材料进行镀膜时,需要在单面进行镀膜后取出电池片,将片状材料翻转,重新启动设备再对片状材料的另一侧表面进行镀膜,加工效率低。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请提供一种变换装置,通过升降的方式调换上下两个片状材料的位置,从而改变上下两个片状材料的朝向,从而满足镀膜设备快速地对片状材料进行双面镀膜的目的。

2、本申请提供一种变换装置包括:传送机构和变换机构。传送机构包括上下设置的第一传送组件和第二传送组件,第一传送组件用于沿指定方向传送载具,以供外部的镀膜机构对片状材料的下表面进行镀膜,第二传送组件用于沿指定方向传送载具,以供外部的镀膜机构对片状材本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种变换装置,用于将载有片状材料的载具进行传送并进行位置变换,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,当所述升降件托举所述载具上升或下降时,在上下方向上,所述第一传送组件对所述载具进行避让;或

3.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件包括伸缩辊,所有的所述伸缩辊均能沿左右方向移动,以在上下方向上对所述升降件和所述载具沿进行避让;或

4.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件和/或所述第二传送组件所述伸缩辊的数量均为至少两个。

5.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种变换装置,用于将载有片状材料的载具进行传送并进行位置变换,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,当所述升降件托举所述载具上升或下降时,在上下方向上,所述第一传送组件对所述载具进行避让;或

3.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件包括伸缩辊,所有的所述伸缩辊均能沿左右方向移动,以在上下方向上对所述升降件和所述载具沿进行避让;或

4.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件和/或所述第二传送组件所述伸缩辊的数量均为至少两个。

5.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件还包括传送辊,所述所有的伸缩辊位于前后相邻的两个所述传送辊之间;或

6.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述变换装置还包括两个左右...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢秋霞祁文杰张武
申请(专利权)人:拉普拉斯西安科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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