【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳能电池制备领域,尤其涉及一种变换装置及镀膜设备。
技术介绍
1、在太阳电池制备时,通常pvd(physical vapor deposition,物理气相沉积)工艺在片状材料上沉积铜种子层以制备电极。具体地,将片状材料放置在载具上,然后将具有片状材料的载具放置在工艺腔室内在对片状材料镀膜时,需要对片状材料进行双面镀膜,使用现有的镀膜设备在对片状材料进行镀膜时,需要在单面进行镀膜后取出电池片,将片状材料翻转,重新启动设备再对片状材料的另一侧表面进行镀膜,加工效率低。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请提供一种变换装置,通过升降的方式调换上下两个片状材料的位置,从而改变上下两个片状材料的朝向,从而满足镀膜设备快速地对片状材料进行双面镀膜的目的。
2、本申请提供一种变换装置包括:传送机构和变换机构。传送机构包括上下设置的第一传送组件和第二传送组件,第一传送组件用于沿指定方向传送载具,以供外部的镀膜机构对片状材料的下表面进行镀膜,第二传送组件用于沿指定方向传送载具,以供外
...【技术保护点】
1.一种变换装置,用于将载有片状材料的载具进行传送并进行位置变换,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,当所述升降件托举所述载具上升或下降时,在上下方向上,所述第一传送组件对所述载具进行避让;或
3.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件包括伸缩辊,所有的所述伸缩辊均能沿左右方向移动,以在上下方向上对所述升降件和所述载具沿进行避让;或
4.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件和/或所述第二传送组件所述伸缩辊的数量均为至少两个。
5.根据权利要求3所述的
...【技术特征摘要】
1.一种变换装置,用于将载有片状材料的载具进行传送并进行位置变换,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,当所述升降件托举所述载具上升或下降时,在上下方向上,所述第一传送组件对所述载具进行避让;或
3.根据权利要求1所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件包括伸缩辊,所有的所述伸缩辊均能沿左右方向移动,以在上下方向上对所述升降件和所述载具沿进行避让;或
4.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件和/或所述第二传送组件所述伸缩辊的数量均为至少两个。
5.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述第一传送组件还包括传送辊,所述所有的伸缩辊位于前后相邻的两个所述传送辊之间;或
6.根据权利要求3所述的变换装置,其特征在于,所述变换装置还包括两个左右...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢秋霞,祁文杰,张武,
申请(专利权)人:拉普拉斯西安科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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