一种电子级氢气的生产装置及其生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子级氢气的生产装置及其生产方法，其中，该生产装置包括混合罐、换热器、汽化器、甲醇催化裂解反应器、冷却器、净化塔和变压吸附塔组；该生产方法具体包括以下步骤：(1)将甲醇液与脱盐水混合；(2)热交换，升温，汽化；(3)催化裂解转化；(4)热交换，冷却；(5)洗涤净化；(6)吸附。本发明专利技术设备运行安全，有方便的原料来源，便于运输贮存，价格稳定，工艺流程简单，设备高度自动化，生产操作简单、容易，占地面积小，设备投资费用少，生产成本低且回收期短，充分利用剩余热能，且产品质量高，得到的电子级氢气均符合国家标准，稳定性强，能够实现连续性操作，适应高端化市场的需求，具有很大的市场应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子产业，更具体的说是涉及一种电子级氢气的生产装置及其生产方法。

技术介绍

1、高纯氢气主要用于半导体、电子工业和石化工业，其中电子工业是应用需求最高的市场，在电真空材料、半导体、电子管、非晶硅膜生产中应用需求较高。在电子、精细化工和医药中间体产品制造等高端制造业中，产品质量与上游气体的纯度高度相关，因此往往使用纯度更高的高纯氢。在精细化工和医药中间体产品制造中，高纯氢气是基本原料之一，氢气的纯度对产品质量和能耗影响很大。而在各种使用催化剂的加氢工业中，氢气中杂质含量的高低决定昂贵的催化剂寿命和产品合格率，因而决定产品的成本，因此，使用高纯氢可以有效提高产品的质量及盈利能力。

2、目前，用于精制高纯氢的方法主要有：冷凝－低温吸附法、低温吸收－吸附法、变压吸附法、钯膜扩散法、金属氢化物法以及这些方法的联合使用。cn117160372a公开了一种用于甲醇制氢的反应装置，可以提高甲醇的制氢效率，但没有提纯操作，无法得到符合工业要求的产品；cn117839608a公开了一种甲醇制氢装置，该装置可以提高甲醇制氢的经济效益和环境效益，但该装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级氢气的生产装置，其特征在于，包括混合罐、换热器、汽化器、甲醇催化裂解反应器、冷却器、净化塔和变压吸附塔组；

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢气的生产装置，其特征在于，所述变压吸附塔组为6塔并联，包括变压吸附塔Ⅰ、变压吸附塔Ⅱ、变压吸附塔Ⅲ、变压吸附塔Ⅳ、变压吸附塔Ⅴ和变压吸附塔Ⅵ。

3.一种电子级氢气的生产方法，其特征在于，采用如权利要求1所述电子级氢气的生产装置，具体包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的一种电子级氢气的生产方法，其特征在于，步骤(1)中，所述脱盐水的含盐量为1～5mg/L；所述甲醇液与脱盐水的质量比为(1～2):...

【技术特征摘要】

1.一种电子级氢气的生产装置，其特征在于，包括混合罐、换热器、汽化器、甲醇催化裂解反应器、冷却器、净化塔和变压吸附塔组；

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢气的生产装置，其特征在于，所述变压吸附塔组为6塔并联，包括变压吸附塔ⅰ、变压吸附塔ⅱ、变压吸附塔ⅲ、变压吸附塔ⅳ、变压吸附塔ⅴ和变压吸附塔ⅵ。

3.一种电子级氢气的生产方法，其特征在于，采用如权利要求1所述电子级氢气的生产装置，具体包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的一种电子级氢气的生产方法，其特征在于，步骤(1)中，所述脱盐水的含盐量为1～5mg/l；所述甲醇液与脱盐水的质量比为(1～2):1。

5.根据权利要求3所述的一种电子级氢气的生产方法，其特征在于，步骤(2)中，升温至180℃后通入汽化器，再次升温至200℃并汽化为气体。

6.根据权利要求3所述的一种电子级氢气的生产方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：李群生，
申请(专利权)人：北京化工大学，
类型：发明
国别省市：