【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及射频功放，具体而言，涉及一种射频自动匹配器功放自激调节方法及系统。
技术介绍
1、射频电源可以激发气体获得等离子体，再利用离子束溅射沉积原理可进行真空镀膜、刻蚀等工作。由于离子腔室内负载的阻抗值会随着时间和腔室内环境参数的改变发生线性变化，若直接将射频电源与负载相连接，必然导致阻抗失配而发生大功率反射，造成负载能力不足、射频电源过热。因此需要在射频电源和负载之间串联自动调节的匹配器，匹配器的匹配网络能够将负载的阻抗转换为标准50欧，以保证射频电源高效率正常工作。而该匹配器的匹配速度和效果也对生产效率至关重要。射频电源的功放在阻抗失配的情况下，会产生较强的反射信号并且和输出信号叠加，由于功放模块的隔离度有限，在某些负载阻抗时，就容易形成自激的现象。这时候会导致匹配器测量的参数不正确从而影响匹配器的调节效果或者调节速度，本专利技术主要通过判断功放是否存在自激的情形来对匹配器的匹配算法做特殊处理避免由于自激导致的无法正确匹配或匹配时间过长的问题。
2、现有自动匹配器处理算法基本上对功放出现自激的情况没做特殊处理，自激...
【技术保护点】
1.一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，所述自激检测包括：
3.根据权利要求2所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，判断处理后的信号是否出现自激的方法为：
4.根据权利要求1所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，若检测到出现自激，则通过FPGA控制电机维持上次对真空电容的转动方向，降低电机转速直到最低转速；
5.根据权利要求4所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，所述对真空电容进行调...
【技术特征摘要】
1.一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，所述自激检测包括：
3.根据权利要求2所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，判断处理后的信号是否出现自激的方法为：
4.根据权利要求1所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法，其特征在于，若检测到出现自激，则通过fpga控制电机维持上次对真空电容的转动方向，降低电机转速直到最低转速；
5.根据权利要求4所述的一种射频自动匹配器功放自激调节方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，舒畅，
申请(专利权)人：成都德芯数字科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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